一种防止腔体泄漏的控压装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种防止腔体泄漏的控压装置，其特征在于：包括腔体和所述腔体上的进气孔与控压孔；所述进气孔连接进气管道，所述控压孔依次连接控压管道和泄压阀；在所述进气管道与控压管道高度一致的管道上分别设有进气管道气动阀和与所述进气管道气动阀联动的控压管道联动气动阀；所述的进气管道气动阀和控压管道联动气动阀的两个转动开关设轴心孔并由水平连接轴轴心连接并相对设置；所述转动开关能同轴转动实现进气管道气动阀和控压管道联动气动阀的同开同关。当腔体处于真空状态时，两个气动阀全部为关闭状态。由于泄压阀前端被联动的气动阀隔断，因此泄压阀的因微漏进入的管路的空气不能进到腔体，从而影响不到腔体的正常工作。

A pressure control device to prevent cavity leakage

The utility model provides a device to prevent leakage of the control cavity, which comprises a cavity and the cavity of the air inlet and the pressure control hole; the air inlet is connected with an air duct, wherein the control pressure control pipe connected with the pressure relief valve pressure control and pressure in the pipe hole; pipe height the air inlet pipe are respectively arranged on the intake pipe of the pneumatic valve and the inlet pipe pneumatic pressure control valve linkage linkage pipe pneumatic valve; the inlet pipe of the pneumatic valve and pressure control of gas pipeline linkage two rotating valve of the switch is provided with axial holes and connected by horizontal connecting shaft axis and the relative setting; the rotary switch can achieve the intake pipe pneumatic valve and pressure control valve with pneumatic pipeline linkage closed rotating coaxial drive. When the cavity is in a vacuum state, the two valves are all closed. Because the front end of the relief valve is partied by the pneumatic valve which is connected with each other, therefore, the air from the pipeline entering the pressure relief valve can not enter the cavity, so that the normal operation of the cavity can not be affected.

【技术实现步骤摘要】
一种防止腔体泄漏的控压装置
本技术涉及一种压力装置，尤其涉及一种控压装置。
技术介绍
PVDPCxT腔体，为了防止Vent时腔体压力过大，腔体上安装了泄压阀。当腔体压力达到大气压时，泄压阀自动打开，从而保证腔体最大压力等于1个大气压左右。目前的泄压阀时常会出现微漏，导致腔体RF反射功率异常。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是针对现有技术的缺陷，提供一种能稳定的控压的防止腔体泄漏的控压装置。本技术为解决上述技术问题采用以下技术方案：一种防止腔体泄漏的控压装置，其特征在于：包括腔体和所述腔体上的进气孔与控压孔；所述进气孔连接进气管道，所述控压孔依次连接控压管道和泄压阀；在所述进气管道与控压管道高度一致的管道上分别设有进气管道气动阀和与所述进气管道气动阀联动的控压管道联动气动阀；所述的进气管道气动阀和控压管道联动气动阀的两个转动开关设轴心孔并由水平连接轴轴心连接并相对设置；所述转动开关能同轴转动实现进气管道气动阀和控压管道联动气动阀的同开同关。为了进一步优化上述技术方案，本技术所采取的技术措施为：优选的，所述进气管道气动阀和所述控压管道联动气动阀为参数相同的气动阀。优选的，所述水平连接轴中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防止腔体泄漏的控压装置，其特征在于：包括腔体(1)和所述腔体(1)上的进气孔(11)与控压孔(12)；所述进气孔(11)连接进气管道(2)，所述控压孔(12)依次连接控压管道(3)和泄压阀(4)；在所述进气管道(2)与控压管道(3)高度一致的管道上分别设有进气管道气动阀(21)和与所述进气管道气动阀(21)联动的控压管道联动气动阀(31)；所述的进气管道气动阀(21)和控压管道联动气动阀(31)的两个转动开关设轴心孔并由水平连接轴(5)轴心连接并相对设置；所述转动开关能同轴转动实现进气管道气动阀(21)和控压管道联动气动阀(31)的同开同关。

【技术特征摘要】
1.一种防止腔体泄漏的控压装置，其特征在于：包括腔体(1)和所述腔体(1)上的进气孔(11)与控压孔(12)；所述进气孔(11)连接进气管道(2)，所述控压孔(12)依次连接控压管道(3)和泄压阀(4)；在所述进气管道(2)与控压管道(3)高度一致的管道上分别设有进气管道气动阀(21)和与所述进气管道气动阀(21)联动的控压管道联动气动阀(31)；所述的进气管道气动阀(21)和控压管道联动气动阀(31)的两个转动开关设轴心孔并由水平连接轴(5)轴心连接并相对设置；所述转动开关能同轴转动实现进气管道气动阀(21)和控压管道联动气动阀(31)的同开同关。2.根据权利要求1所述的防止腔体泄漏的控压装置，其特征在于：所述进气管道气动阀(21)和所述控压管道联动气动阀(31)为参数相同的气动阀。3.根据权利要求1所述的防止腔体泄漏的控压装置，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱亮，柳小敏，陈伟，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31