A method for calibrating test chamber, the test chamber surrounding the interior volume (20), was designed to include at least one flexible wall portion (14, 16) of the film chamber (12), and by gas conduction is connected to a pressure sensor (30), connected to a vacuum pump (26) also, through the calibration valve (34) connected to the bounding volume calibration (37) calibration chamber (36); the method comprises the following steps: evacuating the film chamber (12); measuring the film chamber (12) the pressure difference in time; in the operation has been completed, in the measurement of pressure at the same time to change the calibration of gas transmission volume (37) connected to the film chamber (12) of the internal volume (20); the arrival in the film chamber (12) before the connection operation, the calibration chamber (36) is greater than the pressure in the cavity (thin film 12) the pressure. A corresponding device is also disclosed.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于校准用于泄漏检测的薄膜腔的装置和方法
本专利技术涉及用于校准用于泄漏检测的薄膜腔的方法和装置。
技术介绍
薄膜腔是测试腔体的一种特殊形式,用于容纳待进行密封性能测试的测试目标。所述薄膜腔的特征在于以下的实际情况:至少一个腔壁部分由柔性材料(薄膜)制成。将要被测试是否存在泄漏的测试目标被放置在所述薄膜腔内部,且所述薄膜腔随后被抽空。在抽空所述薄膜腔的期间,空气器被从所述薄膜腔中抽出,从而导致所述柔性的薄膜腔腔壁紧贴到所述测试目标上。一种特别合适的薄膜腔包括两个薄膜膜层,它们包围所述测试目标并且在它们的边缘部分以气密的方式被彼此连接。在抽空所述薄膜腔的期间,除了残留的死区容积之外,所述薄膜被吸附在所述测试目标上。通过压力传感器,所述压力特性随后在处于所述测试目标之外的区域中的所述薄膜腔内被测量。如果气体通过所述测试目标中的泄漏处从所述测试目标中逸出,相应的被测得的压力增量就被用作泄漏的指示。在这方面上,泄漏速率可以基于所述压力增量而被测量。为了这个目的,所述薄膜腔容积,也就是被所述薄膜腔包围的内部容积,必须是已知的。在抽空之后存在的所述薄膜腔容积取决于所述测试目标的尺寸和形状。当所述薄膜没有完美地紧贴到所述测试目标上时,就会形成死区容积。所述薄膜腔本身例如通过从所述薄膜腔腔壁上进行脱气的元件将气体输送到所述薄膜腔容积中。这会导致所述薄膜腔内部的压力增加(即补偿压力增量)。所述补偿压力增量和所述薄膜腔的死区容积会影响整体上的泄漏速率。这就会导致对泄漏速率的判断发生错误。传统上,为了避免这类错误,使用密封的测试目标的预先测量会被执行,以便检测所述补偿压力增量和 ...
【技术保护点】
一种用于测试目标(18)上的泄漏检测的装置,其包括:薄膜腔(12),其被设计为用于容纳所述测试目标(18)的具有至少一个柔性腔壁部分(14、16)的测试腔体;压力传感器(30),其以气体传导方式与所述薄膜腔(12)的内部容积(20)连接;真空泵(26),其以气体传导方式与所述薄膜腔(12)的内部容积(20)连接;其特征在于:所述薄膜腔(12)的内部容积(20)被通过校准阀(34)以气体传导方式与所述校准腔(36)连接,所述校准腔包围校准容积(37)。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.09.25 DE 102014219481.41.一种用于测试目标(18)上的泄漏检测的装置,其包括:薄膜腔(12),其被设计为用于容纳所述测试目标(18)的具有至少一个柔性腔壁部分(14、16)的测试腔体;压力传感器(30),其以气体传导方式与所述薄膜腔(12)的内部容积(20)连接;真空泵(26),其以气体传导方式与所述薄膜腔(12)的内部容积(20)连接;其特征在于:所述薄膜腔(12)的内部容积(20)被通过校准阀(34)以气体传导方式与所述校准腔(36)连接,所述校准腔包围校准容积(37)。2.如权利要求1所述的装置,其特征在于:所述校准容积(37)的尺寸为所述薄膜腔(12)的内部容积(20)的至少1/1000,并且优选为约1/100。3.如权利要求1或2所述的装置,其特征在于:通过通风阀(32),所述薄膜腔(12)的内部容积(20)被以气体传导方式与外界的环绕所述薄膜腔(12)的大气连接。4.如前述权利要求的任意一项所述的装置,其特征在于:所述校准腔(36)具有测试性的泄漏部(40),其具有预设的泄漏速率。5.一种用于校准测试腔体的方法,所述测试腔体包围内部容积(20),所述测试腔体被设计成包括至少一个柔性的腔壁部分(14、16)的薄膜腔(12),并且被以气体传导方式连接到压力传感器(30)、连接到真空泵(26)、还通过校准阀(34)连接到包围校准容积(37)的校准腔体(36);所述方法包括以下步骤:抽空所述薄膜腔(12);在所述抽空操作已经被完成之后,测量所述薄膜腔(12)内部的压力特性;在测量所述压力特性时,以气体传导方式将所述校准容积(37)连接到所述薄膜腔(12)的内部容积(20);其中在到达所述薄膜腔的所述气体传导连接被实现之前以及在到达所述薄膜腔的所述气体传导连接期间,所述压力被测量;并且其中在连接到所述薄膜腔(12)之前的所述校准腔(36)中的压力高于或低于所述薄膜腔(12)中的压力。6.如前述权利要求所述的方法,其特征在于:所述校准容...
【专利技术属性】
技术研发人员:西尔维奥·德克尔,
申请(专利权)人:英福康有限责任公司,
类型:发明
国别省市:德国,DE
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