泄漏检测器制造技术

一种用于整体和局部泄漏检测组合的泄漏检测装置，包括：测试试样端口(14)；试样高真空泵(16)，其入口与所述测试试样端口(14)连接；至少一个预真空泵(20)，其入口通过测试试样管线(18)与所述试样高真空泵(16)的出口(19)连接；以及气体检测器(32),其与至少一个预真空泵(20)连接，所述气体检测器(32)通过至少一条第一气体管线(28)与所述试样高真空泵(16)、所述测试试样管线(18)和/或所述测试试样端口(14)连接，使得来自所述试样端口(14)的气体通过所述第一气体管线(28)供应给所述气体检测器(32)进行气体分析；其特征在于：在所述测试试样管线(18)中配置与气体压力传感器连接的气体测压体积(22)，使得在使用所述气体检测器(32)进行气体测量时，可以通过测量所述气体测压体积(22)中的压力曲线来进行整体泄漏检测。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

技术介绍

技术实现思路

【技术保护点】

1.一种用于整体和局部泄漏检测组合的泄漏检测装置，包括：

2.一种用于整体和局部泄漏检测组合的泄漏检测装置，包括：

3.根据权利要求2所述的泄漏检测装置，其特征在于，设置有试样高真空泵(16)，所述试样高真空泵(16)的入口与所述测试试样端口(14)连接，所述试样高真空泵(16)的出口(19)通过所述试样管线(18)与所述至少一个预真空泵(20)连接。

4.根据前述任一项权利要求所述的泄漏检测装置，其特征在于，设置了以截止阀(V4，V5)或切断装置的形式用于所述至少一个预真空泵(20)的装置，用于在利用所述气体压力传感器(24)测量所述气体测压体积(2...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种用于整体和局部泄漏检测组合的泄漏检测装置，包括：

2.一种用于整体和局部泄漏检测组合的泄漏检测装置，包括：

3.根据权利要求2所述的泄漏检测装置，其特征在于，设置有试样高真空泵(16)，所述试样高真空泵(16)的入口与所述测试试样端口(14)连接，所述试样高真空泵(16)的出口(19)通过所述试样管线(18)与所述至少一个预真空泵(20)连接。

4.根据前述任一项权利要求所述的泄漏检测装置，其特征在于，设置了以截止阀(v4，v5)或切断装置的形式用于所述至少一个预真空泵(20)的装置，用于在利用所述气体压力传感器(24)测量所述气体测压体积(22)中的所述压力曲线的同时解除所述至少一个预真空泵的抽吸能力对所述气体测压体积(22)的影响。

5.根据权利要求1或2所述的泄漏检测装置，其特征在于，所述第一气体管线(28)与所述测试试样高真空泵(16)的中间气体端口相连。

6.根据前述任一项权利要求所述的泄漏检测装置，其特征在于，与所述气体测压体积(22)连接的所述测试试样管线(18)和其他气体管线(36、40)中至少有一条设有节流阀(38)。

7.根据权利要求2的泄漏检测装置，其特征在于，在连接所述气体测压体积(22)和所述检测器高真空泵(30)的中间气体管线(36、40)中设置至少一个节流阀(38)。

8.根据前述任一项权利要求所述的泄漏检测装置，其特征在于，所述气体管线(28)和/或至少一条中间气体管线(36、40)通向对所述气体检测器(32)进行排真空的检测器高真空泵(30)。

9.根据前述任一项权利要求所述的泄漏检测装置，其特征在于，所述检测器高真空泵(30)的所述出口与所述预真空泵(20)连接，以便由此排真空。

10.根据前述任一项权利要求所述的泄漏检测装置，其特征在于，所述气体检测器(32)为质谱仪。

11.根据前述任一项权利要求所述的泄漏检测装置，其特征在于，所述气体压力传感器(24)是作为总压力传感器、气密性传感器或差压传感器的压力表。

12.根据前述任一项权利要求所述的泄漏检测装置，其特征在于，设置有具有选择性可关闭截止阀(v2、v3)的至少一...

【专利技术属性】
技术研发人员：西尔维奥·德克尔，西蒙·马蒂乌达基斯，兰多夫·保罗·罗尔夫，
申请(专利权)人：英福康有限责任公司，
类型：发明
国别省市：