悬臂式硅片碳框载板升降系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种悬臂式硅片碳框载板升降系统，升降平台包括承载平台和升降支撑架，升降支撑架设置于所述承载平台下方；承载平台由若干轻型铝型材拼装连接组成；升降支撑架由若干方形管焊接连接组成，包括交叉加强筋框架以及支撑斜管；Y轴升降模组包括丝杠、竖直驱动伺服电机和升降滑台，升降平台沿X轴的一侧通过丝杠滑设于升降滑台上；X轴水平运输模组包括水平输送带和水平驱动伺服电机，一侧或两侧水平输送带旁设有到位传感器，碳框载板输出端处设有阻挡气缸。本实用新型专利技术可实现碳框载板的平稳自动化高低位过渡，在转移过程中可有效保护硅片，保证整体工艺的连续性，缩短工艺流程，提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
悬臂式硅片碳框载板升降系统
本技术涉及一种升降系统，具体涉及一种用于板式PECVD设备的悬臂式硅片碳框载板升降系统，属于硅片生产自动化设备

技术介绍
为了提高晶体硅太阳电池的效率，通常需要减少太阳电池表面的反射，还需要对硅片表面进行钝化处理，以降低表面缺陷对于少数载流子的复合作用。板式PECVD系统即将多片硅片放置在一个石墨或碳纤维支架上(碳框载板)，放入板式PECVD主工艺机内将SiNx分子沉积到硅片表面，SiNx膜被制备在硅表面上起到钝化作用，以减少表面对可见光的反射。经过PECVD工艺处理的满载硅片的碳框载板从主工艺机输送出后，需从低位转移至高位的吸盘搬运臂自动上下片工位，由机械手吸取走处理后的硅片，再将未处理硅片转移至空载碳框载板。现有方式是人工转移碳框，费时费力，速度慢，工作效率低，且在人工搬运过程中容易因震动造成硅片损坏。
技术实现思路
针对现有技术存在的上述问题，本申请人进行研究及改进，提供一种悬臂式硅片碳框载板升降系统，该系统可实现碳框载板高低位的平稳自动化过渡，在转移过程中可有效保护硅片，保证整体工艺的连续性，缩短工艺流程，提高工作效率。为了解决上述问题，本技术采本文档来自技高网...

【技术保护点】
悬臂式硅片碳框载板升降系统，包括升降平台、Y轴升降模组和X轴水平运输模组，其特征在于：所述升降平台包括承载平台和升降支撑架，所述升降支撑架设置于所述承载平台下方；所述承载平台由若干轻型铝型材拼装连接组成；所述升降支撑架由若干方形管焊接连接组成，包括交叉加强筋框架以及设置于所述交叉加强筋框架下方的一对支撑斜管；所述Y轴升降模组包括丝杠、竖直驱动伺服电机和升降滑台，所述升降平台沿X轴的一侧通过所述丝杠滑设于所述升降滑台上，所述竖直驱动伺服电机驱动所述丝杠并带动所述升降平台在所述升降滑台上沿Y轴进行升降动作；所述X轴水平运输模组包括水平输送带和水平驱动伺服电机，所述水平输送带分别位于所述承载平台沿X...

【技术特征摘要】
1.悬臂式硅片碳框载板升降系统，包括升降平台、Y轴升降模组和X轴水平运输模组，其特征在于：所述升降平台包括承载平台和升降支撑架，所述升降支撑架设置于所述承载平台下方；所述承载平台由若干轻型铝型材拼装连接组成；所述升降支撑架由若干方形管焊接连接组成，包括交叉加强筋框架以及设置于所述交叉加强筋框架下方的一对支撑斜管；所述Y轴升降模组包括丝杠、竖直驱动伺服电机和升降滑台，所述升降平台沿X轴的一侧通过所述丝杠滑设于所述升降滑台上，所述竖直驱动伺服电机驱动所述丝杠并带动所述升降平台在所述升降滑台上沿Y轴进行升降动作；所述X轴水平运输模组包括水平输送带和水平驱动伺服电机，所述水平输送带分别位于所述承载平台沿X轴的两侧，一侧或两侧所述水平输送带旁设有到位传感器，碳框载板...

【专利技术属性】
技术研发人员：董晓清，黄文杰，刘德方，
申请(专利权)人：无锡市江松科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32