下载悬臂式硅片碳框载板升降系统的技术资料

文档序号:17590419

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本实用新型涉及一种悬臂式硅片碳框载板升降系统,升降平台包括承载平台和升降支撑架,升降支撑架设置于所述承载平台下方;承载平台由若干轻型铝型材拼装连接组成;升降支撑架由若干方形管焊接连接组成,包括交叉加强筋框架以及支撑斜管;Y轴升降模组包括丝杠...
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