非制冷红外焦平面阵列低噪声选通电路制造技术
Low noise gated circuit for uncooled infrared focal plane array
The utility model relates to a uncooled infrared focal plane array low noise gating circuit, infrared sensor and relates to the field of thermal imaging; the circuit includes: multiplexing, multiplexing contact hole of the contact hole microbolometer unit, timing control switch; a microbolometer readout unit, micro measurement the switch unit is closed at both ends of the bolometer, the microbolometer readout circuit unit is formed from the signal pathway of VCOM ROIC to the reference level; the utility model, the traditional micro bolometer two independent contact hole unit of reuse, saving the contact hole array area occupied, which can get more microbolometer units in the same area, improve the performance of the circuit, the timing control, reduce the free end of the microbolometer thermal meter unit, thus effectively reduce the capacitive load and The performance of the micrometer radiometer array caused by the parasitic capacitance is reduced, and the utility model further simplifies the switch and time sequence and reduces the noise introduced by the switch.
【技术实现步骤摘要】
非制冷红外焦平面阵列低噪声选通电路
本专利技术涉及微测辐射热计阵列的读出，该方法适用于红外传感领域，更进一步说是热成像的红外传感领域，主要用于非制冷红外焦平面阵列的读出。
技术介绍
非制冷红外焦平面阵列是红外成像技术中获取红外图像信号的核心光电器件，是一种高性能的红外固体图像传感器。红外成像技术在军事、空间技术、医学以及国民经济相关领域正得到日益广泛的应用。焦平面探测器的焦平面以感光元件为基本单元，红外光辐射在焦平面的感光元件上，探测器将接受到辐射后，信号转换为电信号并进行积分放大、采样保持，通过多路传输系统及输出缓冲，最终送达成像系统形成图像。微测辐射热计探测器是应用最广泛的一种红外焦平面阵列，它是一种热敏电阻性探测器。微测辐射热计焦平面阵列是利用微机械加工技术在硅读出电路上制作绝热结构，并在其上面形成作为探测器单元的微测辐射热计单元，实现单片结构。微测辐射热计焦平面阵列作为第二代非制冷焦平面技术的佼佼者，以它为核心制作的非制冷红外成像系统与制冷红外成像系统相比具有体积小、功耗低的优点，并使系统的性价比大幅提高，极大地促进了红外成像系统在许多领域中的应用。传统微测辐射热计单元由两个独立的接触孔组成，此接触孔并不与阵列中相邻的微测辐射热计单元共用。微测辐射热计单元的一个接触孔用以连接读出电路(ROIC)，另外一个连接至参考电平(VCOM)，两者共同形成了一个信号通路。但是随着CMOS工艺的特征尺寸的不断缩小，两个独立的接触孔占用了大量的面积；为了解决这一问题，优化电路，本专利技术将微测辐射热计阵列中相邻行单元复用同一个接触孔，节约了接触孔占用的阵列面积，同...
【技术保护点】
一种非制冷红外焦平面阵列低噪声选通电路，该电路包括三个部分：复用接触孔、复用接触孔的微测辐射热计单元、微测辐射热计单元两端的开关；微测辐射热计阵列中相邻行单元复用同一个接触孔，相邻两个接触孔，一个通过开关连接至读出电路ROIC，另一个通过开关连接至参考电平VCOM；本电路中连接至复用接触孔的开关可以通过时序控制，微测辐射热计单元的信号流向固定。
【技术特征摘要】
1.一种非制冷红外焦平面阵列低噪声选通电路，该电路包括三个部分：复用接触孔、复用接触孔的微测辐射热计单元、微测辐射热计单元两端的开关；微测辐射热计阵列中相邻行单元复用同一个接触孔，相邻两个接触孔，一个通过开关连接至读出电路ROIC，另一个通过开关连接至参考电平VCOM；本电路中连接至复用接触孔的开关可以通过时序控制，微测辐射热计单元的信号流向固定。2.根据权利要求1所述的一种非制冷红外焦平面阵列低噪声选通电路，其特征是：相邻的微测辐射热计单元复用接触孔，通过闭合微测辐射热计单元两端的开关，在微测辐射热计单元上形成从读出电路ROIC到参考电平VCOM的信号通路。3.根据权利要求1所述的一种非制冷红外焦平面阵列低噪声选通电路，其特征是：对于某一行微测辐射热计单元，其信号通路的方向可以通过闭合该微测辐射热计单元的复用接触孔...
【专利技术属性】
技术研发人员：管志强，赵文虎，刘树廷，
申请(专利权)人：苏州芯通微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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