用于MEMS图像传感器的像元阵列制造技术
Pixel array for MEMS image sensor
The utility model provides a pixel array MEMS image sensor used by a plurality of pixels in the two-dimensional plane repeatedly arranged, the pixel comprises a substrate and a micro micro bridge, the bridge pier is fixed on the substrate through signals through the wire in the piers will be transferred to the micro bridge on the readout circuit on the substrate in the pixel array, each pier leads to a plurality of arms, and is connected with a plurality of pixels. The utility model, a bridge leading out a plurality of arm is connected with a plurality of pixels, can effectively reduce the number of pixels in the array of piers, expanding the electromagnetic wave absorption area, improve the response rate of pixels, used in MEMS image sensor and significantly improve the signal-to-noise ratio of the product and sensitivity characteristics. In addition, less number of piers is beneficial to simplify the production process of pixel array, thereby saving costs and improving the good yield.
【技术实现步骤摘要】
用于MEMS图像传感器的像元阵列
本技术涉及MEMS图像传感器
，特别涉及一种用于MEMS图像传感器的像元阵列。
技术介绍
非制冷的红外热成像传感器和THz成像传感器具备不可替代的应用功能，市场前景较好，且具有价格低、体积小、功耗低、可靠高、操作方便等优点。随着微电子和微机械加工MEMS技术的逐步发展，非制冷红外热成像传感器和THz成像传感器的这些优势被进一步强化，成为高科技
发展的热点之一。参见图1，是典型的红外热成像传感器的像元阵列100，由多个像元10在在二维平面上重复排列组成，其中每个像元10的结构如图2所示，包括微桥11和衬底13，所述微桥11通过桥墩12固定在衬底上，并通过桥墩12中的引线将微桥11上产生的电信号传递至衬底13上的读出电路，从而检测出电流或电阻的变化，最终实现对红外辐射的探测，进而成像。在上述现有技术中，所述像元阵列中的每个像元10均拥有两个独立桥墩12，相当于每个桥墩仅负责二分之一个的像元，这会导致桥墩在整个像元阵列中的面积占比过高，而桥墩不能感热，因此过多桥墩的存在会导致像元阵列感热面积的浪费，影响热吸收性能，无法满足市...
【技术保护点】
一种用于MEMS图像传感器的像元阵列，由多个像元在二维平面上重复排列组成，所述像元包括衬底和微桥，所述微桥通过桥墩固定在衬底上，并通过桥墩中的引线将微桥上产生的电信号传递至衬底上的读出电路，其特征在于：在所述像元阵列中，每个桥墩引出多个臂，同时与多个像元连接。
【技术特征摘要】
1.一种用于MEMS图像传感器的像元阵列，由多个像元在二维平面上重复排列组成，所述像元包括衬底和微桥，所述微桥通过桥墩固定在衬底上，并通过桥墩中的引线将微桥上产生的电信号传递至衬底上的读出电路，其特征在于：在所述像元阵列中，每个桥墩引出多个臂，同时与多个像元连接。2.根据权利要求1所述的一种用于MEMS图像传感器的像元阵列，其特征在于：所述每个桥墩引出2个臂，同时与两个像元连接。3.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵照，葛鼎，
申请(专利权)人：合肥芯福传感器技术有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。