下载用于MEMS图像传感器的像元阵列的技术资料

文档序号:16547250

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本实用新型提供一种用于MEMS图像传感器的像元阵列,由多个像元在二维平面上重复排列组成,所述像元包括衬底和微桥,所述微桥通过桥墩固定在衬底上,并通过桥墩中的引线将微桥上产生的电信号传递至衬底上的读出电路,在所述像元阵列中,每个桥墩引出多个臂...
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