The invention relates to the field of photoelectric technology, in particular to a transparent film thickness measurement system and method. The measurement system includes a signal transmitting tube and signal receiving tube; the signal transmitting tube from right to left are sequentially arranged dispersion lens, beam splitter, convergent beam expanding lens group, collimating lens, triangular prism group, a digital micromirror device, the signal is transmitted in the barrel of the triangular prism group should be the side the wall is provided with a white light source, in the signal transmitting tube corresponding to the beam splitter on the side wall is connected with the signal receiving tube, the signal receiving tube is arranged with a bottom-up dispersion prism, convergence eyepiece and visual sensor. The invention of sensor technology fast and high dispersion and dispersion of different wavelengths of light together with the digital micro mirror technology to achieve a transparent film thickness measurement based on the effective use of optical wavelength stability, eliminates the influence of environment, effectively improve the measurement accuracy.
【技术实现步骤摘要】
一种透明薄膜厚度测量系统以及方法
本专利技术涉及光电
,尤其是涉及一种透明薄膜厚度测量系统以及方法,特别是一种用于透明薄膜厚度快速高精度测量的传感测量技术和方法。
技术介绍
目前,透明薄膜主要有金属膜系、氧化物膜系、其他化合物膜系、高分子膜系、复合膜系等。广泛应用在太阳能、半导体、汽车、航空航天、军工等行业,而透明薄膜的厚度是其主要质量参数,是影响产品性能的主要指标,因此透明薄膜的厚度快速高精度检测对于工业生产及产品的合理使用有着极其重要的意义,尤其是对于航空航天、太阳能、半导体和武器工业,它直接影响产品的使用性能。目前,国内外透明薄膜的厚度测量采用较多的方法有:激光三角法、干涉法、摩尔条纹法等,但测量效率和精度都存在一定缺陷。公开于该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在加深对本专利技术的总体
技术介绍
的理解,而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种透明薄膜厚度测量系统以及方法,以解决现有技术中存在的技术问题。为了实现上述目的,本专利技术采用以下技术方案:第一方面,本专利技术提供一种透明薄膜厚度测量系统,其包括:信号发送镜筒和信号接收镜筒;所述信号发送镜筒自右向左依次设置有色散汇聚物镜组、分光镜、扩束镜组、准直透镜组、三角棱镜组、数字微镜器件,在所述信号发送镜筒对应所述三角棱镜组的侧壁上设置有白光光源,在所述信号发送镜筒对应所述分光镜的侧壁上连接有所述信号接收镜筒,所述信号接收镜筒自下而上依次设置有色散棱镜、汇聚目镜和视觉传感器。作为一种进一步的技术方案,在所述信号发送镜筒对应所述三 ...
【技术保护点】
一种透明薄膜厚度测量系统,其特征在于,包括:信号发送镜筒和信号接收镜筒;所述信号发送镜筒自右向左依次设置有色散汇聚物镜组、分光镜、扩束镜组、准直透镜组、三角棱镜组、数字微镜器件,在所述信号发送镜筒对应所述三角棱镜组的侧壁上设置有白光光源,在所述信号发送镜筒对应所述分光镜的侧壁上连接有所述信号接收镜筒,所述信号接收镜筒自下而上依次设置有色散棱镜、汇聚目镜和视觉传感器。
【技术特征摘要】
1.一种透明薄膜厚度测量系统,其特征在于,包括:信号发送镜筒和信号接收镜筒;所述信号发送镜筒自右向左依次设置有色散汇聚物镜组、分光镜、扩束镜组、准直透镜组、三角棱镜组、数字微镜器件,在所述信号发送镜筒对应所述三角棱镜组的侧壁上设置有白光光源,在所述信号发送镜筒对应所述分光镜的侧壁上连接有所述信号接收镜筒,所述信号接收镜筒自下而上依次设置有色散棱镜、汇聚目镜和视觉传感器。2.根据权利要求1所述的透明薄膜厚度测量系统,其特征在于,在所述信号发送镜筒对应所述三角棱镜组的侧壁上设置有第一开口,所述白光光源安装于所述第一开口。3.根据权利要求1所述的透明薄膜厚度测量系统,其特征在于,在所述信号发送镜筒对应所述分光镜的侧壁上设置有第二开口;所述信号接收镜筒连接于所述信号发送镜筒的第二开口。4.根据权利要求1所述的透明薄膜厚度测量系统,其特征在于,所述白光光源为LED白光光源。5.根据权利要求1所述的透明薄膜厚度测量系统,其特征在于,所述信号发送镜筒靠近所述数字微镜器件的端部设置有端盖。6.根据权利要求1所述的透明薄膜厚度测量系统,其特征在于,所述三角棱镜组包括两个三角棱镜,其中一个所述三角棱镜为直角三角棱镜,另一个所述三角棱镜为等边三角棱镜。7.一种根据权利要求1-6中任一项所述的透明薄膜厚度测量系统的方法,其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员:邵伟,王错,杨秀芳,王晓娟,彭鹏,
申请(专利权)人:西安理工大学,
类型:发明
国别省市:陕西,61
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