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一种透明薄膜厚度测量系统以及方法技术方案
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文档序号:17559246
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本发明涉及光电技术领域,尤其是涉及一种透明薄膜厚度测量系统以及方法。该测量系统包括:信号发送镜筒和信号接收镜筒;所述信号发送镜筒自右向左依次设置有色散汇聚物镜组、分光镜、扩束镜组、准直透镜组、三角棱镜组、数字微镜器件,在所述信号发送镜筒对应...
该专利属于西安理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安理工大学授权不得商用。
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