一种可旋转靶材装夹装置制造方法及图纸

技术编号:17512323 阅读:86 留言:0更新日期:2018-03-20 22:59
本发明专利技术公开了一种可旋转靶材装夹装置,包括底座,所述底座的上表面的中部固定连接有第一转轴,且底座的上表面的外围均匀开设有转盘卡槽,所述第一转轴的外表面的中部套接有转盘,所述转盘的下表面的外围均匀固定连接有转盘卡销,且转盘的上表面的左部和右部均固定连接有支架,所述支架的外表面套接有滑动套管,通过抬起转盘,从转盘卡槽中抽出转盘卡销,然后控制装夹装置水平旋转,通过抽出两个卡销后,可以垂直旋转装夹装置,通过两个旋转机构使得靶材可以朝向任何需要的方向,不需要因改变朝向再重新装夹,当靶材受热时,防滑胶层回融化,将装夹板和靶材外表面粘连在一起,结构紧固。

A rotating target clamping device

The invention discloses a rotary target clamping device, which comprises a base, the upper surface of the central section of the base is fixedly connected with a first rotating shaft, and the periphery of the upper surface of the base is uniformly provided with rotary slot, the first shaft of the outer surface of the middle connecting turntable, the turntable under the surface the external uniform is fixedly connected with a clamping pin and the turntable, turntable on the surface of the left and right portions are fixedly connected with a bracket, the bracket of the outer surface is sheathed with a sliding sleeve, by lifting turntable, turntable turntable from the card slot out of the locking pin clamping device of horizontal rotary control then, by taking two card pin, clamping device of vertical rotation can be installed, two rotating mechanism makes the target can be directed toward any direction, does not need to be changed toward re clamping, when the target is heated, non slip adhesive melt back It will attach the outer surface of the splint to the outer surface of the target and fasten the structure.

【技术实现步骤摘要】
一种可旋转靶材装夹装置
本专利技术涉及靶材
,具体为一种可旋转靶材装夹装置。
技术介绍
靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话,靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料,用于高能激光武器中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的杀伤破坏效应,但现在应用的大多数靶材支架是固定的,不能自由改变测试角度,每次更换测试角度都要进行重新装夹。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种可旋转靶材装夹装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种可旋转靶材装夹装置,包括底座,所述底座的上表面的中部固定连接有第一转轴,且底座的上表面的外围均匀开设有转盘卡槽,所述第一转轴的外表面的中部套接有转盘,所述转盘的下表面的外围均匀固定连接有转盘卡销,且转盘的上表面的左部和右部均固定连接有支架,所述支架的外表面套接有滑动套管,所述滑动套管的前表面螺接有紧固螺栓,且滑动套管的右侧壁的外表面固定连接有第二转轴,所述第二转轴的外表面套接有转动套管,所述转动套管的上侧本文档来自技高网...
一种可旋转靶材装夹装置

【技术保护点】
一种可旋转靶材装夹装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的上表面的中部固定连接有第一转轴(2),且底座(1)的上表面的外围均匀开设有转盘卡槽(3),所述第一转轴(2)的外表面的中部套接有转盘(4),所述转盘(4)的下表面的外围均匀固定连接有转盘卡销(5),且转盘(4)的上表面的左部和右部均固定连接有支架(7),所述支架(7)的外表面套接有滑动套管(8),所述滑动套管(8)的前表面螺接有紧固螺栓(9),且滑动套管(8)的右侧壁的外表面固定连接有第二转轴(10),所述第二转轴(10)的外表面套接有转动套管(12),所述转动套管(12)的上侧壁的内表面卡接有卡销(11),且转动套管(12)...

【技术特征摘要】
1.一种可旋转靶材装夹装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的上表面的中部固定连接有第一转轴(2),且底座(1)的上表面的外围均匀开设有转盘卡槽(3),所述第一转轴(2)的外表面的中部套接有转盘(4),所述转盘(4)的下表面的外围均匀固定连接有转盘卡销(5),且转盘(4)的上表面的左部和右部均固定连接有支架(7),所述支架(7)的外表面套接有滑动套管(8),所述滑动套管(8)的前表面螺接有紧固螺栓(9),且滑动套管(8)的右侧壁的外表面固定连接有第二转轴(10),所述第二转轴(10)的外表面套接有转动套管(12),所述转动套管(12)的上侧壁的内表面卡接有卡销(11),且转动套管(12)的内部开设有弹簧卡槽(19),所述卡销(11)的左侧壁和右侧壁中部均固定连接有弹簧底座(20),所述弹簧底座(20)的上表面固定连接有复位弹簧(21)的一端,所述复位弹簧(21)的另一端与弹簧卡槽(19)的上表面固定连接,所述第二转轴(10)的外表面均匀开设有变档...

【专利技术属性】
技术研发人员:武晔辉
申请(专利权)人:南京宝丽晶电子科技有限公司
类型:发明
国别省市:江苏,32

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