一种应用于柱形旋转靶的挡板组件制造技术

本发明专利技术公开了一种应用于柱形旋转靶的挡板组件，包括自由环、半圆环挡板、连轴环、环状压板、轴承和滚珠；自由环呈U型，其外侧部上对称设置有两个限位件；半圆环挡板与自由环的底端相连；连轴环呈U型，设于自由环内部，包括圆环状的底部和环状凸起部；环状压板和轴承均套设在连轴环的环状凸起部外侧，环状压板通过外侧套设有弹性件的螺杆与自由环相连；连轴环的圆环状的底部的底表面与自由环的圆环状的底部的顶表面的对应位置处均设有环形凹槽，环形凹槽上设有球形凹坑，滚珠设于环形凹槽或者球形凹坑内。本发明专利技术无需使用单独配套的电机或者气缸等驱动装置，同时无需使用单独配套的真空腔体开孔结构和轴封结构，能够减少故障点的同时降低挡板的制作成本。

A baffle component applied to a cylindrical rotating target

The invention discloses a baffle component applied to a cylindrical rotating target, including free ring, round ring, ring, ring baffle plate, shaft bearings and ball; free ring is in a U shape, the outer part are symmetrically arranged on the two limit; a semicircular ring baffle and the bottom end of the free ring even; the coupling ring is arranged on the inner ring type U, free, which comprises an annular bottom and an annular convex part; annular plate and sleeve bearings are arranged on the outer annular protuberance of the annular plate screw with collar, the elastic piece is connected with the free ring through the outer sleeve is provided with a bottom surface; and free ring annular annular ring. The bottom of the bottom of the top surface of the corresponding position are provided with annular grooves, annular groove is arranged on the spherical pit, a ball ring groove or spherical pits. The invention does not need to use the supporting device such as motor or cylinder and other driving devices, and does not need to use the vacuum cavity opening structure and shaft seal structure independently, which can reduce the failure point and reduce the production cost of the baffle.

【技术实现步骤摘要】
一种应用于柱形旋转靶的挡板组件
本专利技术属于溅射镀膜挡板结构
，具体涉及一种应用于柱形旋转靶的挡板组件。
技术介绍
溅射镀膜靶材的挡板结构用于防止不同材料靶材溅射的相互污染问题，对于柱形旋转靶而言，常采用半环形挡板结构。现有的半环形挡板开关一般采用两种方式：一种是采用独立的电机加传感器实现挡板的关闭；另一种方式是采用气缸驱动，前述的两种方式均需要配置与挡板单独配套的真空腔体开孔结构和轴封结构，从而会导致增加真空漏气故障点。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术提出一种应用于柱形旋转靶的挡板组件，无需使用单独配套的电机或者气缸等驱动装置，同时无需使用单独配套的真空腔体开孔结构和轴封结构，能够减少故障点的同时降低挡板的制作成本。实现上述技术目的，达到上述技术效果，本专利技术通过以下技术方案实现：一种应用于柱形旋转靶的挡板组件，包括自由环、半圆环挡板、连轴环、环状压板、轴承和滚珠；所述自由环呈U型，包括圆环状的底部和环状凸起部，其外侧部上对称设置有两个限位件；所述半圆环挡板与自由环的底端相连，其延伸方向与自由环的底部的延伸方向相垂直，且半圆环挡板的两个端部分别位于自由环上对应的限位件本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种应用于柱形旋转靶的挡板组件，其特征在于：包括自由环、半圆环挡板、连轴环、环状压板、轴承和滚珠；所述自由环呈U型，包括圆环状的底部和环状凸起部，其外侧部上对称设置有两个限位件；所述半圆环挡板与自由环的底端相连，其延伸方向与自由环的底部的延伸方向相垂直，且半圆环挡板的两个端部分别位于自由环上对应的限位件下方；所述连轴环呈U型，设于自由环内部，且与自由环同轴设置，包括圆环状的底部和环状凸起部；所述环状压板和轴承均套设在连轴环的环状凸起部外侧，所述环状压板位于轴承上方，且环状压板通过外侧套设有弹性件的螺杆与自由环上的环状凸起部相连；所述连轴环的圆环状的底部的底表面与自由环的圆环状的底部的顶表面的对...

【技术特征摘要】
1.一种应用于柱形旋转靶的挡板组件，其特征在于：包括自由环、半圆环挡板、连轴环、环状压板、轴承和滚珠；所述自由环呈U型，包括圆环状的底部和环状凸起部，其外侧部上对称设置有两个限位件；所述半圆环挡板与自由环的底端相连，其延伸方向与自由环的底部的延伸方向相垂直，且半圆环挡板的两个端部分别位于自由环上对应的限位件下方；所述连轴环呈U型，设于自由环内部，且与自由环同轴设置，包括圆环状的底部和环状凸起部；所述环状压板和轴承均套设在连轴环的环状凸起部外侧，所述环状压板位于轴承上方，且环状压板通过外侧套设有弹性件的螺杆与自由环上的环状凸起部相连；所述连轴环的圆环状的底部的底表面与自由环的圆环状的底部的顶表面的对应位置处均设有环形凹槽，环形凹槽上还设有球形凹坑，连轴环和自由环上的环形凹槽共同形成跑道，所述滚珠设于环形凹槽或者球形凹坑内。2.根据权利要求1所述的一种应用于柱形旋转靶的挡板组件，...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴疆，李东滨，秦正春，冯斌，王德苗，金浩，
申请(专利权)人：浙江大学昆山创新中心，
类型：发明
国别省市：江苏,32