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本发明公开了一种可旋转靶材装夹装置,包括底座,所述底座的上表面的中部固定连接有第一转轴,且底座的上表面的外围均匀开设有转盘卡槽,所述第一转轴的外表面的中部套接有转盘,所述转盘的下表面的外围均匀固定连接有转盘卡销,且转盘的上表面的左部和右部均...该专利属于南京宝丽晶电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京宝丽晶电子科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种可旋转靶材装夹装置,包括底座,所述底座的上表面的中部固定连接有第一转轴,且底座的上表面的外围均匀开设有转盘卡槽,所述第一转轴的外表面的中部套接有转盘,所述转盘的下表面的外围均匀固定连接有转盘卡销,且转盘的上表面的左部和右部均...