一种实现驱动和定点搅拌的声表面波集成芯片制造技术
A surface acoustic wave integrated chip for actuation and fixed-point mixing
The utility model discloses a surface acoustic wave integrated chip drive and fixed-point stirring, the surface acoustic wave integrated chip comprises a base material (22) and integrated IDT group; the integrated interdigital transducer group includes two sets of interdigital transducer, the distribution of the base material (22); a group of interdigital the transducer is Ruili wave transducer (23), used to drive the micro fluid; for the transducer generates acoustic energy concentrated in the focal region, so as to realize the micro fluid mixing point. The surface acoustic wave integrated chip of the utility model realizes synchronous driving and fixed point mixing, improves the mixing efficiency of the droplet, and solves the problem of energy consumption and low mixing efficiency of the traditional chip by fixed point mixing.
【技术实现步骤摘要】
一种实现驱动和定点搅拌的声表面波集成芯片
本技术涉及微流体反应芯片
，具体涉及一种实现驱动和定点搅拌的声表面波集成芯片。
技术介绍
声表面波(SAW)器件因其体积小、性能优异等特点得到广泛关注与应用，包括声表面波滤波器、传感器等。近几年，在微流控研究领域，人们关注到利用声表面波器件实现微流体的驱动、搅拌、分离等有很大优势，它基于声表面波进入流体后所产生的复杂的流-固耦合响应，可以产生可控制的声波。同时基于声表面波技术的微流体器件具有结构简单、易于制造、适于批量生产、生物相容性良好，能够快速驱动流体且驱动力较大、易于芯片中集成等优势，使得声表面波微流控器件成为研究热点。目前国内外对基于声表面波在微流控领域的研究主要集中在驱动微流体液滴的分离、移动、混合、沉淀，以及生物样品和试剂的定量输送、细胞粉碎、杂质过滤、DNA增放等。文献1(LiangGuo,GuvanasenGS,XiLiu,TuthillC,NicholsTR,DeWeerthSP.APDMS-basedintegratedstretchablemicroelectrodearray(isMEA)fo...
【技术保护点】
一种实现驱动和定点搅拌的声表面波集成芯片，所述声表面波集成芯片包括基底材料(22)和集成叉指换能器组；其特征在于，所述集成叉指换能器组包括两组叉指换能器，分布在基底材料(22)上；一组叉指换能器为瑞丽波换能器(23)，用于微流体的驱动；另一组叉指换能器为表面横波模式的扇形加权换能器(21)，用于使该换能器产生的声波能量集中在焦点区域内，从而实现微流体的定点搅拌。
【技术特征摘要】
1.一种实现驱动和定点搅拌的声表面波集成芯片，所述声表面波集成芯片包括基底材料(22)和集成叉指换能器组；其特征在于，所述集成叉指换能器组包括两组叉指换能器，分布在基底材料(22)上；一组叉指换能器为瑞丽波换能器(23)，用于微流体的驱动；另一组叉指换能器为表面横波模式的扇形加权换能器(21)，用于使该换能器产生的声波能量集中在...
【专利技术属性】
技术研发人员：李红浪，卢孜筱，田亚会，柯亚兵，程利娜，
申请(专利权)人：中国科学院声学研究所，
类型：新型
国别省市：北京,11
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