下载一种实现驱动和定点搅拌的声表面波集成芯片的技术资料

文档序号:17504097

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本实用新型公开了一种实现驱动和定点搅拌的声表面波集成芯片,所述声表面波集成芯片包括基底材料(22)和集成叉指换能器组;所述集成叉指换能器组包括两组叉指换能器,分布在基底材料(22)上;一组叉指换能器为瑞丽波换能器(23),用于微流体的驱动;...
该专利属于中国科学院声学研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院声学研究所授权不得商用。

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