一种实现微流体驱动搅拌的声表面波集成芯片制造技术
A surface acoustic wave integrated chip for micro fluid driven mixing
The utility model provides a surface acoustic wave integrated chip micro fluid drive mixing, the surface acoustic wave integrated chip comprises a base material (22) and integrated interdigital transducer group (21), the integrated interdigital transducer group (21) is arranged on a base material (22), the integrated interdigital transducer group (21) including two groups of different working frequency of the interdigital transducer, a group of interdigital transducers for Ruili wave transducer for driving micro fluid; another group of interdigital transducers for surface wave transducer for micro fluid mixing. Surface acoustic wave integrated chip of the utility model are respectively designed two different transducer structure, parallel end distribution in droplet propagation path, thereby integrating microfluidic chip to realize synchronous moving and stirring, driving and stirring, improving the mixing efficiency of droplets, while the structure is relatively simple, wide application range.
【技术实现步骤摘要】
一种实现微流体驱动搅拌的声表面波集成芯片
本技术涉及微流体反应芯片
，具体涉及一种实现微流体驱动搅拌的声表面波集成芯片。
技术介绍
声表面波(SAW)器件因其体积小、性能优异等特点得到广泛关注与应用，包括声表面波滤波器、传感器等。近几年，在微流控研究领域，人们关注到利用声表面波器件实现微流体的驱动、搅拌、分离等有很大优势，它基于声表面波进入流体后所产生的复杂的流-固耦合响应，可以产生可控制的声波。同时基于声表面波技术的微流体器件具有结构简单、易于制造、适于批量生产、生物相容性良好，能够快速驱动流体且驱动力较大、易于芯片中集成等优势，使得声表面波微流控器件成为研究热点。目前国内外对基于声表面波在微流控领域的研究主要集中在驱动微流体液滴的分离、移动、混合、沉淀，以及生物样品和试剂的定量输送、细胞粉碎、杂质过滤、DNA增放等。文献1(LiangGuo,GuvanasenGS,XiLiu,TuthillC,NicholsTR,DeWeerthSP.APDMS-basedintegratedstretchablemicroelectrodearray(isMEA)fo...
【技术保护点】
一种实现微流体驱动搅拌的声表面波集成芯片，所述声表面波集成芯片包括基底材料(22)和集成叉指换能器组(21)，所述集成叉指换能器组(21)设置在基底材料(22)上，其特征在于，所述集成叉指换能器组(21)包括两组不同工作频率的叉指换能器，一组叉指换能器为瑞丽波换能器，用于微流体的驱动；另一组叉指换能器为表面横波换能器，用于微流体的搅拌。
【技术特征摘要】
1.一种实现微流体驱动搅拌的声表面波集成芯片，所述声表面波集成芯片包括基底材料(22)和集成叉指换能器组(21)，所述集成叉指换能器组(21)设置在基底材料(22)上，其特征在于，所述集成叉指换能器组(21)包括两组不同工作频率的叉指换能...
【专利技术属性】
技术研发人员：李红浪，卢孜筱，田亚会，柯亚兵，程利娜，
申请(专利权)人：中国科学院声学研究所，
类型：新型
国别省市：北京,11
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