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一种实现微流体驱动搅拌的声表面波集成芯片制造技术
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文档序号:17504096
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本实用新型提供一种实现微流体驱动搅拌的声表面波集成芯片,所述声表面波集成芯片包括基底材料(22)和集成叉指换能器组(21),所述集成叉指换能器组(21)设置在基底材料(22)上,所述集成叉指换能器组(21)包括两组不同工作频率的叉指换能器,...
该专利属于中国科学院声学研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院声学研究所授权不得商用。
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