一种低延迟脉冲、低串扰、高收集效率微通道板制造技术

本发明专利技术涉及一种低延迟脉冲、低串扰、高收集效率微通道板。该微通道板包括若干个平行通道组成的二维阵列，其中，二维阵列的上端面镀有输入电极层，二维阵列的下端面镀有输出电极层；其改进之处是：每个通道包括开设在输入电极层的输入口以及开设在输出电极层的输出口；输入口与通道上端连通，输出口与通道下端连通；输入口自上而下逐渐减小，从而形成的微通道板的通道开口面积大于90％；输入电极的表面覆盖有具有高二次电子发射系数的薄膜。本发明专利技术的微通道板微通道开口面积大，增加了电子进入通道的概率，提高了收集效率；电极表面覆盖的高二次电子发射材料薄膜能够减少落在电极表面的电子损失的概率，进一步提高了收集效率。

【技术实现步骤摘要】
一种低延迟脉冲、低串扰、高收集效率微通道板
本专利技术属于微弱光电探测领域，具体涉及一种低延迟脉冲、低串扰、高收集效率微通道板。
技术介绍
微通道板是一种能够将电子连续倍增的器件。一片微通道板由几百万个玻璃毛细通道以一定倾角排列组成，每个通道内壁具有良好的导电性能和二次电子发射性能，通道的两个端面镀有输入和输出电极。当在两电极间加上电压时，在通道内沿轴向建立起一个均匀电场，进入通道的电子在该电场作用下连续撞击通道内壁，产生二次电子，实现连续倍增。因高增益、快响应、优异的抗磁场性能，微通道板广泛应用于光电倍增管、像增强器等微弱光电探测、成像器件中。传统微通道板的开口面积比为55％-75％，未进入通道的电子会在输入电极表面反弹后进入相邻通道，造成位敏型光电倍增管中不同阳极间信号串扰，像增强器图像模糊，影响其空间分辨；反弹的电子需运动一段时间后再进入通道，与直接进入的通道的电子相比产生的输出信号较晚，形成延迟脉冲，降低其时间分辨率。另外由于微通道板表面电极的二次电子发射系数较低，撞击至电极的电子被吸收而损失的概率较大，导致微通道板的收集效率受限于其开口面积比。在申请号为2016108561本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低延迟脉冲、低串扰、高收集效率微通道板，包括若干个平行通道组成的二维阵列，其中，二维阵列的上端面镀有输入电极层，二维阵列的下端面镀有输出电极层；其特征在于：每个通道包括开设在输入电极层的输入口以及开设在输出电极层的输出口；输入口与通道上端连通，输出口与通道下端连通；输入口自上而下逐渐减小，从而形成的微通道板的通道开口面积大于90％。

【技术特征摘要】
1.一种低延迟脉冲、低串扰、高收集效率微通道板，包括若干个平行通道组成的二维阵列，其中，二维阵列的上端面镀有输入电极层，二维阵列的下端面镀有输出电极层；其特征在于：每个通道包括开设在输入电极层的输入口以及开设在输出电极层的输出口；输入口与通道上端连通，输出口与通道下端连通；输入口自上而下逐渐减小，从而形成的微通道板的通道开口面积大于90％。2.根据权利要求1所述的低延迟脉冲、低串扰、高收集效率微通道板，其特征在于：所述输入口为倒锥台形状。3.根据权利要求2所述的低延迟脉冲、低串扰、高收集效率微通道板，其特征在于：当倒锥台的母线为直线时，所述母线的斜率为0.25～5.5。4.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈萍，田进寿，韦永林，刘虎林，赛小锋，王兴，王超，王俊锋，温文龙，卢裕，何凯，裴承全，辛丽伟，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：陕西,61