一种三轴MEMS陀螺仪制造技术

本发明专利技术公开了一种三轴MEMS陀螺仪，包括设置于X轴方向上的X轴检测部、Y轴检测部以及Z轴检测部，并且上述三个检测部之间通过外部质量块相互连接，并且所述外部质量块与上述三个检测部之间通过若干根连接弹簧梁相连。上述三轴MEMS陀螺仪，利用一套驱动部件便能够实现对于X轴、Y轴和Z轴的角速度检测，从而节省了陀螺仪的内部空间，降低了成本。

A three axis MEMS gyroscope

The invention discloses a three axis MEMS gyroscopes, including X axis detection part, arranged in the direction of X axis Y axis Z axis detection part and detection part, and between the three detection unit connected to each other through the external mass, and between the external mass and the three detection unit through a plurality of connecting spring connected beam. The above three axis MEMS gyroscope can realize the angular velocity detection for X axis, Y axis and Z axis by using a set of driving components, thereby saving the internal space of gyroscope and reducing the cost.

【技术实现步骤摘要】
一种三轴MEMS陀螺仪
本专利技术涉及MEMS陀螺仪
，特别涉及一种三轴MEMS陀螺仪。
技术介绍
随着各类消费电子产品逐渐向便携、轻便化发展，市场对体积更小的陀螺仪芯片的需求日益迫切。针对目前市场已经知晓的MEMS技术，运用该技术已获得了诸如利用半导体材料制成的陀螺仪；目前我国面向此市场的MEMS陀螺仪主要为电容谐振式陀螺仪，即通过驱动电容机械结构使质量块在驱动模态上振动，在通过检测电容检测由于科里奥利力导致的质量块在检测方向的运动引起的电容变化。在现有技术中，三轴陀螺仪机械部分由三个独立的X、Y和Z单轴陀螺仪构成，每个单轴陀螺仪结构中需要分别包含独立的质量块、驱动以及检测结构，并且相应的ASIC电路中需要采用三套独立的驱动电路分别驱动，导致最终陀螺仪芯片的体积较大。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种三轴MEMS陀螺仪，该三轴MEMS陀螺仪可以解决体积较大、成本较高问题。为实现上述目的，本专利技术提供一种三轴MEMS陀螺仪，包括设置于X轴方向上的X轴检测部、Y轴检测部以及Z轴检测部，并且上述三个检测部之间通过外部质量块相互连接，并且所述外部质量块与上述三个检测部之间通过若本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三轴MEMS陀螺仪，其特征在于，包括设置于X轴方向上的X轴检测部、Y轴检测部以及Z轴检测部，并且上述三个检测部之间通过外部质量块相互连接，并且所述外部质量块与上述三个检测部之间通过若干根连接弹簧梁相连。

【技术特征摘要】
1.一种三轴MEMS陀螺仪，其特征在于，包括设置于X轴方向上的X轴检测部、Y轴检测部以及Z轴检测部，并且上述三个检测部之间通过外部质量块相互连接，并且所述外部质量块与上述三个检测部之间通过若干根连接弹簧梁相连。2.根据权利要求1所述的三轴MEMS陀螺仪，其特征在于，上述三个检测部之间具有用以设置锚点的间隙，所述外部质量块设置用以伸入所述间隙并与所述锚点相连的伸出端。3.根据权利要求2所述的三轴MEMS陀螺仪，其特征在于，所述伸出端与所述锚点之间通过锚固弹簧梁连接。4.根据权利要求1至3任意一项所述的三轴MEMS陀螺仪，其特征在于，所述X轴检测部包括位于与所述X轴方向垂直的Y轴方向上且相互连接的第三质量块和第四质量块，所述第三质量块位于所述第四质量块的上方；所述Y轴检测部包括位于X轴方向上且相互连接的第五质量块和第六质量块，所述第五质量块位于所述第六质量块的左侧；所述Z轴检测部包括位于Y轴方向上且相互连接的第七质量块和第八质量块，所述第七质量块位于所述第八质量块的上方；所述外部质量块具体为沿Y轴方向设置的第一质量块和第二质量块，所述第一质量块位于所述第二质量块的上方；并且所述第一质量块通过第一组连接弹簧梁分别与所述第三质量块、所述第五质量块、所述第六质量块和所述第七质量块相连；所述第二质量块通过第二组连接弹簧梁分别与所述第四质量块、所述第五质量块、所述第六质量块和所述第八质量块相连。5.根据权利要求4所述的三轴MEMS陀螺仪，其特征在于，上述三个检测部均以其各自的水平中心线和竖直中心线上下对称及左右对称。6.根据权利要求4所述的三轴MEMS陀螺仪，其特征在于，所述第三质量块与所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹波，王辉，刘爽，
申请(专利权)人：深迪半导体上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31