激光剥离和贴膜一体装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种激光剥离和贴膜一体设备，实现剥离和贴膜整体解决方案，能有效提高激光剥离系统产能利用率，达到生产节拍要求。而且节省净化间占地面积和厂务费用，显著降低柔性显示制造成本。进一步的，本发明专利技术的方案中，其进一步采用了双激光剥离工件台、双柔性屏载台转盘系统和双载膜台的设计，从而使得整个运作非单线运作，有效提高了工作效率，降低了制造成本。

One device of laser peeling and coating

The invention provides an integrated device for laser stripping and film placement, which realizes the overall solution of stripping and film sticking, which can effectively improve the productivity and utilization rate of laser peeling system and achieve the requirement of production rhythm. Save and clean room area and facility costs, significantly reduce the manufacturing cost of flexible display. Further, in the scheme of the invention, it further adopts the design of double laser stripped workpiece stage, double flexible screen table, turntable system and double carrier stage, so that the whole operation is not single line operation, which effectively improves the work efficiency and reduces the manufacturing cost.

【技术实现步骤摘要】
激光剥离和贴膜一体装置
本专利技术涉及OLED柔性显示制造技术，尤其涉及一种激光剥离和贴膜一体装置。
技术介绍
柔性显示技术是OLED未来的重要发展方向之一，具有超轻、超薄、可卷曲、便携、抗冲击等诸多优点。FOLED的制备方式包含RolltoRoll(卷对卷)和SheettoSheet(片对片)两种方式。前者设备改造较大暂无法预测量产时间，后者是目前技术研究的主流，已有部分厂商实现量产。在片对片制程工艺中，需要将柔性基底粘合在刚性载片上，然后采用传统设备即可加工，最后采用剥离工艺释放刚性载体基板上柔性显示屏。剥离方法有热剥离、化学剥离和激光剥离等，其中激光剥离被认为是最适合大规模量产的制造方式。激光剥离制程又可分为先剥后切式和先切后剥式。前者主要应用于中大尺寸屏制程，受工艺因素影响技术难度较大良率较低，后者主要应用于中小尺寸屏，良率较高但产率相对较慢。两种方式都需要在剥离工序前，对硬屏器件表面进行上贴膜，经过清洗工序后进行激光剥离，剥离完成后，在柔性屏衬底面进行下贴膜。其中激光剥离工序和下贴膜工序可连续进行。在中小尺寸柔性屏量产线中，传统工序的生产节拍与现有刚性屏基本相当，约为5秒。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光剥离和贴膜一体装置，其特征在于：包括：镜像设置的两个激光剥离工件台，用以从上料工位接收待剥离硬屏后轮流将所述待剥离硬屏运至剥离工位，并轮流将剥离后的硬屏运至交接工位；镜像设置的两个柔性屏载台单元，与所述两个激光剥离工件台一一对应，从所述剥离后的硬屏中吸附柔性屏后运至贴膜工位，并将贴膜后的柔性屏传至下料工位下料；还包括被所述两个激光剥离工件台公用的激光剥离单元及被所述两个柔性屏载台单元公用的贴膜单元。

【技术特征摘要】
1.一种激光剥离和贴膜一体装置，其特征在于：包括：镜像设置的两个激光剥离工件台，用以从上料工位接收待剥离硬屏后轮流将所述待剥离硬屏运至剥离工位，并轮流将剥离后的硬屏运至交接工位；镜像设置的两个柔性屏载台单元，与所述两个激光剥离工件台一一对应，从所述剥离后的硬屏中吸附柔性屏后运至贴膜工位，并将贴膜后的柔性屏传至下料工位下料；还包括被所述两个激光剥离工件台公用的激光剥离单元及被所述两个柔性屏载台单元公用的贴膜单元。2.如权利要求1所述的激光剥离和贴膜一体装置，其特征在于：所述贴膜单元包括水平驱动机构及两个载膜台，所述两个载膜台在所述水平驱动机构的驱动下往返于所述两个柔性屏载台单元的贴膜工位之间，且所述两个载膜台中一个载膜台在上膜工位时，另一载膜台在所述两个柔性屏载台单元中一个贴膜工位。3.如权利要求2所述的激光剥离和贴膜一体装置，其特征在于：所述贴膜单元还包括：载膜板，设置在所述载膜台上，用以承载保护膜；推顶销，设置在所述载膜板下方，用于将所述载膜板顶起后与所述载膜台分离，且使所述保护膜与所述柔性屏贴合；以及贴合滚棒，贴附于所述载膜板下表面往复运动，将所述保护膜贴紧于所述柔性屏上。4.如权利要求1所述的激光剥离和贴膜一体装置，其特征在于：所述两个激光剥离工件台通过XY导轨实现移动。5.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：覃宗伟，张俊，孟春霞，周炯，闻人青青，李志丹，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31