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本发明提供一种激光剥离和贴膜一体设备，实现剥离和贴膜整体解决方案，能有效提高激光剥离系统产能利用率，达到生产节拍要求。而且节省净化间占地面积和厂务费用，显著降低柔性显示制造成本。进一步的，本发明的方案中，其进一步采用了双激光剥离工件台、双柔...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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