一种掩模版、掩模蒸镀组件及蒸镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供一种掩模版、掩模蒸镀组件及蒸镀装置，涉及蒸镀技术领域，能够解决在掩模版上支撑条位置处与待蒸镀基板之间存在较大的间隙，间隙位置处在蒸镀膜层时易于侵入沉积蒸镀材料，从而使得掩模蒸镀的膜层图案与掩模图案差异较大的问题。包括：掩模版本体，掩模版本体包括掩模版框架以及掩模版框架环绕的掩模部分，掩模部分包括多个掩模图案区域以及相邻掩模图案区域之间的无效区域。支撑条，支撑条的两端固定在掩模版框架上，且支撑条跨设于掩模部分并投影于无效区域内，用于支撑掩模版本体。升降组件，设置在掩模版框架上对应支撑条的端部位置，升降组件能够带动支撑条的端部沿垂直于掩模版框架所在平面朝向远离掩模版框架的方向移动。

A mask plate, a mask steamed component and a steaming device

The embodiment of the invention provides a mask, mask plating components and deposition apparatus, relates to evaporation technology, can solve in the mask there is a big gap between the support and the position to be evaporated substrate gap position in the coating layer is easily intruded into the sedimentary vapor deposition material, so that the problem mask the film pattern and the mask pattern is different. The mask includes a mask version body, a mask version body, a mask frame and a mask part surrounding the mask frame, and the mask part includes a plurality of mask pattern regions and an invalid area between the adjacent mask patterns regions. The two ends of the supporting bar and supporting bar are fixed on the mask frame, and the supporting straddle is positioned on the mask part and projected in the invalid area, which is used to support the mask version body. The lifting assembly is arranged on the mask plate corresponding to the end position of the supporting bar, and the lifting component can drive the end of the supporting bar to move along the direction perpendicular to the plane of the mask frame and away from the mask frame.

【技术实现步骤摘要】
一种掩模版、掩模蒸镀组件及蒸镀装置
本专利技术涉及蒸镀
，尤其涉及一种掩模版、掩模蒸镀组件及蒸镀装置。
技术介绍
OLED(OrganicLightEmittingDiode，有机发光二极管)显示面板具有自发光、反应快、亮度高、轻薄等诸多优点，已经逐渐成为显示领域的主流。OLED显示面板包括阵列排布的多个子像素单元，每一个子像素单元包括阳极、发光层和阴极，其中，发光层采用有机电致发光材料形成，目前主要采用掩模版并通过蒸镀工艺制作在各子像素单元中。掩模版上具有构图图案，随着屏幕PPI(PixelsPerInch，每英寸内拥有的像素数目)的增多，掩模版上的构图图案区域也需要进一步精细化。对于制作大尺寸OLED显示面板，由于掩模版尺寸较大，通常采用张网的方式提高掩模版的平整度，并且需要在掩模版上位于掩模图案以外的区域设置沿张网拉伸方向延伸的支撑条，以对掩模版提供支撑。但是，一方面，在张网拉伸的作用力下，支撑条靠近中心的部分容易发生上翘变形；另一方面，支撑条通常是通过两端焊接的方式固定在掩模版上，由于焊接点通常会凸出于掩模版的表面，在将掩模版与待蒸镀基板之间贴合时，支撑条焊接固定的位置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩模版，其特征在于，包括：掩模版本体，包括掩模版框架以及所述掩模版框架环绕的掩模部分，所述掩模部分包括多个掩模图案区域以及相邻所述掩模图案区域之间的无效区域；支撑条，所述支撑条的两端固定在所述掩模版框架上，且所述支撑条跨设于所述掩模部分并投影于所述无效区域内，用于支撑所述掩模版本体；升降组件，设置在所述掩模版框架上对应所述支撑条的端部位置，所述升降组件能够带动所述支撑条的端部沿垂直于所述掩模版框架所在平面朝向远离所述掩模版框架的方向移动。

【技术特征摘要】
1.一种掩模版，其特征在于，包括：掩模版本体，包括掩模版框架以及所述掩模版框架环绕的掩模部分，所述掩模部分包括多个掩模图案区域以及相邻所述掩模图案区域之间的无效区域；支撑条，所述支撑条的两端固定在所述掩模版框架上，且所述支撑条跨设于所述掩模部分并投影于所述无效区域内，用于支撑所述掩模版本体；升降组件，设置在所述掩模版框架上对应所述支撑条的端部位置，所述升降组件能够带动所述支撑条的端部沿垂直于所述掩模版框架所在平面朝向远离所述掩模版框架的方向移动。2.根据权利要求1所述的掩模版，其特征在于，所述升降组件至少包括一个升降平面，所述支撑条的端部投影于所述升降平面的边界范围内，所述升降平面带动所述支撑条的端部移动。3.根据权利要求2所述的掩模版，其特征在于，所述升降平面上设置有镂空区域，所述镂空区域对应所述支撑条和所述掩模版框架之间的固定位置。4.根据权利要求2所述的掩模版，其特征在于，所述升降组件还包括在所述升降平面背离所述支撑条的一侧设置的弹性元件，所述弹性元件能够拉动所述升降平面朝向所述掩模版框架的方向移动。5.根据权利要求1-4任一项所述的掩模版，其特征在于，在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：乔永康，潘晟恺，杨凯，
申请(专利权)人：合肥鑫晟光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34