一种蓝宝石晶圆的真空分区吸附装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种蓝宝石晶圆的真空分区吸附装置，包括基板，基板上设有六英寸吸附区、四英寸吸附区、两英寸吸附区；两英寸吸附区内包括若干两英寸吸附孔，两英寸吸附孔的底部接有两英寸真空管，两英寸真空管上设有两英寸真空阀；四英寸吸附区内包括若干四英寸吸附孔及所述的两英寸吸附孔，四英寸吸附孔的底部接有四英寸真空管，四英寸真空管上设有四英寸真空阀；六英寸吸附区内包括若干六英寸吸附孔、及所述的两英寸吸附孔和四英寸吸附孔，六英寸吸附孔的底部接有六英寸真空管，六英寸真空管上设有六英寸真空阀。该真空分区吸附装置可实现两英寸、四英寸和六英寸晶圆的真空吸附，不需要在生产过程中切换不同尺寸的真空基板，有效节约切线时间。

A vacuum partition adsorption device for sapphire wafer

The utility model discloses a vacuum sapphire wafer partition adsorption device, which comprises a substrate, the substrate is provided with a six inch, four inch area adsorption adsorption zone, two inch two inch adsorption zone; the adsorption zone consists of some two inch two inch hole adsorption, adsorption of the bottom of the hole is connected with the two inch two inch vacuum tube, vacuum tube a two inch four inch vacuum valve; adsorption zone comprising a plurality of adsorption holes and the four inch two inch four inch hole adsorption, adsorption of the bottom of the hole is connected with the four inch vacuum tube, the vacuum tube is provided with a four inch four inch six inch vacuum valve; adsorption zone comprising a plurality of holes, and six inches of adsorption the two inch and four inch hole hole adsorption adsorption, adsorption of the bottom of the hole is six inches with a six inch six inch vacuum tube, the vacuum tube is provided with a six inch vacuum valve. The vacuum zoning adsorption device can achieve two inch, four inch and six inch wafer vacuum adsorption. It doesn't need to switch vacuum substrates with different sizes during the production process to save tangent time effectively.

【技术实现步骤摘要】
一种蓝宝石晶圆的真空分区吸附装置
本技术涉及一种吸附装置，具体涉及一种蓝宝石晶圆的真空分区吸附装置，属于半导体干法刻蚀

技术介绍
LED作为一种新型光源，具有节能、环保、寿命长的优势，在资源日益匮乏的今天得到广泛关注。LED的发光效率依赖于PSS衬底微观形貌及均匀性。PSS即图案化蓝宝石衬底，可用于减少LED外延中的位错密度，改善晶体质量，提高LED的发光效率。目前，PSS的尺寸规格有两英寸、四英寸、六英寸以及后续会有八英寸等。生产过程中，PSS厂家根据外延客户的需求，在多种尺寸规格之间切换，将不同规格的传递装置、定位装置重新安装调整，以满足相应规格生产制程要求。曝光时，一般采用真空吸附装置将蓝宝石晶圆吸附在曝光承载台上，以免蓝宝石晶圆在曝光时产生不必要的滑动。目前，真空基板分为两英寸、四英寸和六英寸，生产不同尺寸时，需要更换对应尺寸的真空基板，每次更换耗时长，且更换后位置校准要求高，操作不当易造成生产不良。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的问题，本技术提供一种蓝宝石晶圆的真空分区吸附装置，可有效节约切线时间，降低切线风险，提高工作效率。为了实现上述目的，本技术采用的一种蓝本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蓝宝石晶圆的真空分区吸附装置，其特征在于，包括基板，所述基板上设有六英寸吸附区(1)、位于六英寸吸附区(1)内的四英寸吸附区(2)、及位于四英寸吸附区(2)内的两英寸吸附区(3)；所述两英寸吸附区(3)内包括若干两英寸吸附孔(6)，所述两英寸吸附孔(6)的底部接有两英寸真空管(7)，两英寸真空管(7)上设有两英寸真空阀(8)；所述四英寸吸附区(2)内包括若干四英寸吸附孔(5)及所述的两英寸吸附孔(6)，所述四英寸吸附孔(5)的底部接有四英寸真空管(9)，四英寸真空管(9)上设有四英寸真空阀(10)；所述六英寸吸附区(1)内包括若干六英寸吸附孔(4)、及所述的两英寸吸附孔(6)和四英寸吸附孔...

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石晶圆的真空分区吸附装置，其特征在于，包括基板，所述基板上设有六英寸吸附区(1)、位于六英寸吸附区(1)内的四英寸吸附区(2)、及位于四英寸吸附区(2)内的两英寸吸附区(3)；所述两英寸吸附区(3)内包括若干两英寸吸附孔(6)，所述两英寸吸附孔(6)的底部接有两英寸真空管(7)，两英寸真空管(7)上设有两英寸真空阀(8)；所述四英寸吸附区(2)内包括若干四英寸吸附孔(5)及所述的两英寸吸附孔(6)，所述四英寸吸附孔(5)的底部接有四英寸真空管(9)，四英寸真空管(9)上设有四英寸真空阀(10)；所述六英寸吸附区(1)内包括若干六英寸吸附孔(4)、及所述的两英寸吸附孔(6)和四英寸吸附孔(5)，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁建峰，刘亚坤，王祥，周雪松，涂亮亮，魏明德，
申请(专利权)人：徐州同鑫光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32