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本实用新型公开一种蓝宝石晶圆的真空分区吸附装置，包括基板，基板上设有六英寸吸附区、四英寸吸附区、两英寸吸附区；两英寸吸附区内包括若干两英寸吸附孔，两英寸吸附孔的底部接有两英寸真空管，两英寸真空管上设有两英寸真空阀；四英寸吸附区内包括若干四英...
该专利属于徐州同鑫光电科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过徐州同鑫光电科技股份有限公司授权不得商用。

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