一种探针组件的竖向驱动装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种探针组件的竖向驱动装置，解决了常见探针接触测试设备在使用时，需要驱动体积及重量较大的载片台上下移动的问题，其技术方案要点是，包括：座体；设于所述座体且竖向布置的滚珠丝杠，所述滚珠丝杠包括：丝杆，以及螺纹装配于所述丝杆的、被所述丝杆传动以上下移动的滑套；固定于所述座体的、受一控制中心控制并带动所述丝杆动作的驱动机构；以及，供所述探针组件固定的、固定装配于所述滑套的安装机构，达到驱使探针组件上下移动，同样可以实现对测试芯粒进行接触测试的目的。

A vertical drive device for a probe assembly

The utility model discloses a vertical probe assembly driving device, solve the common probe contact test equipment in use, need mobile drive volume and the weight of large slide table, the technical proposal is, which comprises a seat body; which is arranged on the seat body and the vertical arrangement of ball screw the ball screw comprises a screw rod, and the screw assembly to the wire rod, the above screw drive under the movable sliding sleeve; the drive mechanism is fixed on the seat body, a control center, and drives the screw rod to move; and, for the probe mounting mechanism the fixed component is fixed and assembled on the sliding sleeve, to drive the probe assembly to move up and down, also can realize the contact testing of the core particle to.

【技术实现步骤摘要】
一种探针组件的竖向驱动装置
本技术涉及半导体检测
，特别涉及一种探针组件的竖向驱动装置。
技术介绍
现有技术的探针接触测试设备中，探针往往保持不动，电机带动支撑测试芯粒的载片台上下运动，直至电极接触到探针，从而进行测试。但是，这些设备在进行接触测试的过程中，由于需要驱动体积及重量较大的载片台上下移动，整个设备的体积往往较大，控制较为复杂，而且不利于节省能源。
技术实现思路
本技术实施例的目的是提供一种探针组件的竖向驱动装置，解决了常见探针接触测试设备在使用时，需要驱动体积及重量较大的载片台上下移动的问题。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种探针组件的竖向驱动装置，包括：座体；设于所述座体且竖向布置的滚珠丝杠，所述滚珠丝杠包括：丝杆，以及螺纹装配于所述丝杆的、被所述丝杆传动以上下移动的滑套；固定于所述座体的、受一控制中心控制并带动所述丝杆动作的驱动机构；以及，供所述探针组件固定的、固定装配于所述滑套的安装机构。通过采用上述技术方案，在对测试芯粒进行接触测试的过程中，驱动机构可以带动丝杆转动，从而驱使滑套升降，由于滑套和探针组件之间通过安装机构牢固连接，实现探针组件的上下本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探针组件的竖向驱动装置，其特征在于，包括：座体(1)；设于所述座体(1)且竖向布置的滚珠丝杠，所述滚珠丝杠包括：丝杆(21)，以及螺纹装配于所述丝杆(21)的、被所述丝杆(21)传动以上下移动的滑套(22)；固定于所述座体(1)的、受一控制中心控制并带动所述丝杆(21)动作的驱动机构；以及，供所述探针组件固定的、固定装配于所述滑套(22)的安装机构。

【技术特征摘要】
1.一种探针组件的竖向驱动装置，其特征在于，包括：座体(1)；设于所述座体(1)且竖向布置的滚珠丝杠，所述滚珠丝杠包括：丝杆(21)，以及螺纹装配于所述丝杆(21)的、被所述丝杆(21)传动以上下移动的滑套(22)；固定于所述座体(1)的、受一控制中心控制并带动所述丝杆(21)动作的驱动机构；以及，供所述探针组件固定的、固定装配于所述滑套(22)的安装机构。2.根据权利要求1所述的一种探针组件的竖向驱动装置，其特征在于，所述驱动机构包括：通过一电机座固定于所述座体(1)的伺服电机(31)；以及，设于所述丝杆(21)和所述伺服电机(31)的转轴之间的、带动所述丝杆(21)沿竖向轴线转动的传动件(32)。3.根据权利要求2所述的一种探针组件的竖向驱动装置，其特征在于，所述传动件(32)从如下结构中选择单独或组合使用：链轮传动结构、带轮(321)传动结构或齿轮传动结构。4.根据权利要求1所述的一种探针组件的竖向驱动装置，其特征在于，所述安装机构包括：供所述探针组件固定的安装板(41)；以及，固定于所述安装板(41)的相对于所述探针组件的一侧、固定装配于所述滑套(22)的支座(42)。5.根据权利要求4所述的一种探针组件的竖向驱动装置，其特征在于，所述安装机构还包括：竖向布置于所述座体(1)的一侧壁的、分设于所述丝杆(21)的两侧的导轨(43)；以及，滑动式装配于所述导轨(43)的、固定于所述安装板(41)的相对于所述探针组件的一侧的滑块(44)。6.根据权利要求1所述的一种探针组...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨波，刘振辉，韦日文，李景均，
申请(专利权)人：深圳市矽电半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44