一种净化回收砷化氢气体的装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及工业废气回收技术领域，尤其涉及一种净化回收砷化氢气体的装置及方法，包括高低温箱、收集瓶以及设置于收集瓶内的气体通道和导热片，收集瓶位于高低温箱内；气体通道上具有分散孔，且气体通道沿收集瓶的高度方向设置，并与收集瓶的进气口连接；导热片沿收集瓶的高度方向设置，且沿周向设置在收集瓶的内壁上。本发明专利技术净化回收砷化氢气体的装置及方法采用低温吸附，吸附效率高，可实现尾气中砷化氢气体的回收，通过控制高低温箱的温度即可完成工作，处理工序操作简单，设备简单，所需成本低，为空气污染控制、冶炼尾气和半导体产品生产的尾气处理提供了一条新途径。

【技术实现步骤摘要】
一种净化回收砷化氢气体的装置及方法
本专利技术涉及工业废气回收
，尤其涉及一种净化回收砷化氢气体的装置及方法。
技术介绍
砷化氢(Arsine，化学式AsH3)又称为砷化三氢、砷烷、胂，是最简单的砷化合物，是一种无色、剧毒，密度大于空气的气体，可溶于水及多种有机溶剂。在很多冶炼尾气中都含有砷化氢，如含砷化合物的矿石在潮湿或有水蒸气存在的条件下，加热后便以砷化氢的形式存在于尾气中。近年来，随着半导体行业的迅猛发展，砷化氢在半导体工业中广泛应用，可用于合成各种有机砷化合物，可用于外延气相沉积等，所用高纯砷化氢具有很昂贵的价格。砷化氢是剧毒物质，吸入250ppm的砷化氢便会迅速死亡，长期暴露在10ppm的环境中也可致命，砷的化合物也都具有不同程度的毒性，甚至致癌，而且砷及其化合物极难根除毒性。我国电子工业气体标准GB/T26250-2010规定，砷化氢在放空前必须进行解毒处理；根据北京市大气污染物综合排放标准DB11/501-2007规定，砷及其化合物的最大排放量为0.3mg/m3，各地市均有不同的规定。目前，尾气为多种气体的混合物，包括氮气、氢气、砷化氢、磷化氢等成分。常见工业尾气本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种净化回收砷化氢气体的装置，其特征在于：包括高低温箱、收集瓶以及设置于所述收集瓶内的气体通道和导热片，所述收集瓶位于所述高低温箱内；所述气体通道上具有分散孔，且所述气体通道沿所述收集瓶的高度方向设置，并与所述收集瓶的进气口连接；所述导热片沿所述收集瓶的高度方向设置，且沿周向设置在所述收集瓶的内壁上。

【技术特征摘要】
1.一种净化回收砷化氢气体的装置，其特征在于：包括高低温箱、收集瓶以及设置于所述收集瓶内的气体通道和导热片，所述收集瓶位于所述高低温箱内；所述气体通道上具有分散孔，且所述气体通道沿所述收集瓶的高度方向设置，并与所述收集瓶的进气口连接；所述导热片沿所述收集瓶的高度方向设置，且沿周向设置在所述收集瓶的内壁上。2.根据权利要求1所述的净化回收砷化氢气体的装置，其特征在于：所述气体通道具有多个所述分散孔，且所述分散孔沿所述收集瓶的瓶底至进气口的方向逐渐变小。3.根据权利要求1所述的净化回收砷化氢气体的装置，其特征在于：所述气体通道为金属网，所述金属网与所述收集瓶的内壁之间填充有分子筛。4.根据权利要求1所述的净化回收砷化氢气体的装置，其特征在于：所述导热片沿所述收集瓶的内壁周向均匀分布。5.根据权利要求1-4任意一项所述的净化回收砷化氢气体的装置，其特征在于：所述高低温箱与所述收集瓶之间填充有软体导热介质。6.根据权利要求5所述的净化回收砷化氢气体的装置，其特征在于：所述收集瓶的进...

【专利技术属性】
技术研发人员：庞云玲，
申请(专利权)人：北京创昱科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11