连续式热处理炉及使用该连续式热处理炉的陶瓷电子元器件制造方法技术

连续式热处理炉(HF1)中设有沿着输送方向(b)对工件进行热处理的热处理区域。工件在热处理区域(H)中被输送的同时进行热处理。用于输送工件的工件输送机构(100)具备：上方具有开口部的箱状的底部框架(1)、多孔质板(2)、多孔质板(2)覆盖底部框架(1)的开口部而形成的气室(3)、以及与气室(3)连通并将透过多孔质板(2)而流出的气体(g)提供给气室(3)内的供气单元(4)。多孔质板(2)设置成上表面(2a)面向工件输送方向向下倾斜，且在上表面(2a)形成有沿着工件(W)的输送方向延伸的槽(2t1～2t10)。

Continuous heat treatment furnace and the manufacturing method of ceramic electronic components using the continuous heat treatment furnace

In the continuous heat treatment furnace (HF1), the heat treatment area of the workpiece is heat-treated along the transport direction (b). The workpiece is heat-treated at the same time in the heat treatment area (H). The workpiece transporting mechanism for conveying workpieces (100) has a bottom frame box with an opening above the porous plate (1), (2), porous plate (2) covering the bottom frame (1) of the gas chamber opening and the formation of (3), and the gas chamber (3) it will be connected through a porous plate (2) and the outflow of gas (g) provided to the gas chamber (3) within the supply unit (4). The porous plate (2) is arranged on the upper surface (2a), and it inclining downward towards the conveying direction of the workpiece. On the upper surface (2a), there is a slot (2t1 ~ 2t10) extending along the conveying direction of the workpiece (W).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】连续式热处理炉及使用该连续式热处理炉的陶瓷电子元器件制造方法
本专利技术涉及具备用于输送多个微小工件(被处理物)的工件输送机构的连续式热处理炉、以及使用该连续式热处理炉的陶瓷电子元器件制造方法。
技术介绍
连续式的处理设备具备用于连续地输送工件的工件输送机构。作为这样的工件输送机构，带式输送机、滚筒输送机等正被广泛使用。然而，在上述工件输送机构中，需要设置用于驱动传输带、滚筒的驱动机构，使得工件输送机构复杂化且大型化，从而导致用于制造工件输送机构的成本增加。因此，需要简化工件输送机构的结构。日本专利特开2008-273727号公报(专利文献1)中提出了这样的工件输送机构的一例。图11是专利文献1所记载的工件输送机构400的示意图。工件输送机构400具备上方开口的箱状的底部框架401、多孔质板402、气室403、供气单元404和配管405。这里，气室403由多孔质板402覆盖底部框架401的开口部而形成。另外，多孔质板402设置成沿着输送方向向下倾斜。工件给料位置P1上的多孔质板402的背面形成有局部压损调节机构402a，用于向所提供的工件W施加推进力。底部框架401上形成有与气室40本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种连续式热处理炉，设有沿着工件的输送方向对所述工件进行热处理的至少一个热处理区域，所述工件在所述热处理区域中被输送的同时进行热处理，其特征在于，用于输送所述工件的工件输送机构具备：上方具有至少一个开口部的箱状的底部框架；多孔质板；通过所述多孔质板覆盖所述底部框架的所述至少一个开口部而形成的至少一个气室；以及与所述至少一个气室相连通并将透过所述多孔质板而流出的气体提供给所述至少一个气室的供气单元，所述多孔质板设置成上表面面向所述工件的输送方向而向下倾斜，且在所述上表面形成有沿着所述工件的输送方向延伸的槽。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.06.23 JP 2015-1255251.一种连续式热处理炉，设有沿着工件的输送方向对所述工件进行热处理的至少一个热处理区域，所述工件在所述热处理区域中被输送的同时进行热处理，其特征在于，用于输送所述工件的工件输送机构具备：上方具有至少一个开口部的箱状的底部框架；多孔质板；通过所述多孔质板覆盖所述底部框架的所述至少一个开口部而形成的至少一个气室；以及与所述至少一个气室相连通并将透过所述多孔质板而流出的气体提供给所述至少一个气室的供气单元，所述多孔质板设置成上表面...

【专利技术属性】
技术研发人员：则冈铁人，中谷行宏，高畑猛，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP