基于磁力驱动的磁电式精密变量传感装置以及阵列制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种基于磁力驱动的磁电式精密变量传感装置以及阵列，其中：导磁结构形成磁场回路，并留有间隙；导磁结构上绕有电磁线圈以提供交流磁场激励；磁偏置结构为导磁结构提供偏置磁场激励；当偏置磁场与交流磁场施加于导磁结构时，在间隙上产生交变磁场力；待检测变量会引起磁场力的变化；力电式敏感部件在交变磁力的驱动下，产生形变进而产生对应待检测变量的目标电信号。本实用新型专利技术创新性的将磁力驱动的磁电效应用于精密变量检测，实现了一种新型的检测机理和方法。

Magnetoelectric precision variable sensing device and array based on magnetic force

The utility model provides a magnetoelectric sensing device including variable precision magnetic drive and array based on magnetic field circuit structure is formed, and a gap; the magnetic structure around the electromagnetic coil to provide AC magnetic field excitation; magnetic bias structure for magnetic structure and bias magnetic field excitation; when the bias magnetic field with AC magnetic field applied to the magnetic structure, produces alternating magnetic force in the gap; changes to be detected will cause the variable magnetic force; force sensitive components in electric drive alternating magnetic force, deformation and produce electrical signals corresponding to the detection target variable. The new type of magnetic electric effect driven by magnetic force is used in precision variable detection, and a new detection mechanism and method are realized.

【技术实现步骤摘要】
基于磁力驱动的磁电式精密变量传感装置以及阵列
本技术涉及检测传感器
，具体地，涉及一种基于磁力驱动的磁电式精密变量传感装置以及阵列。
技术介绍
磁电效应是指外加磁场可以改变介质的电极化性质的现象。应用磁电效应进行精密传感成为一个很有潜力的领域。现有的专利文献，例如基于科里奥利力的检测传感器，公开号为CN103913158A，公开日为2014年07月09日，技术名称为《磁电式科里奥利力检测传感器》的中国专利申请，提供了一种磁电式科里奥利力检测传感器，该科里奥利力检测传感器，将质量块设置于壳体内部，基于科里奥利力效应，实现平转动体低速或高速的宽频转速的检测。但是这些专利文献提出的检测传感器，均是基于复合功能材料构成的磁电效应，本技术创新的应用基于磁力驱动的磁电效应进行精密变量传感提供合理结构。
技术实现思路
针对现有技术中的缺陷，本技术的目的是提供一种基于磁力驱动的磁电式精密变量传感装置以及阵列。根据本技术提供的一种基于磁力驱动的磁电式精密变量传感装置，包括：磁偏置结构、导磁结构、电磁线圈以及敏感部件；导磁结构位于磁偏置结构的偏置磁场中；导磁结构具有磁场回路间隙；电磁线圈缠绕在导磁结构上；本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于磁力驱动的磁电式精密变量传感装置，其特征在于，包括：磁偏置结构(1)、导磁结构(2)、电磁线圈(3)以及敏感部件(4)；导磁结构(2)位于磁偏置结构(1)的偏置磁场中；导磁结构(2)具有磁场回路间隙(5)；电磁线圈(3)缠绕在导磁结构(2)上；敏感部件(4)安装在导磁结构(2)上。

【技术特征摘要】
1.一种基于磁力驱动的磁电式精密变量传感装置，其特征在于，包括：磁偏置结构(1)、导磁结构(2)、电磁线圈(3)以及敏感部件(4)；导磁结构(2)位于磁偏置结构(1)的偏置磁场中；导磁结构(2)具有磁场回路间隙(5)；电磁线圈(3)缠绕在导磁结构(2)上；敏感部件(4)安装在导磁结构(2)上。2.根据权利要求1所述的基于磁力驱动的磁电式精密变量传感装置，其特征在于，所述导磁结构(2)采用如下任一种磁性材料或者任多种磁性材料的连接组合体：-非晶及纳米晶软磁合金材料-软磁非金属铁氧体材料；-金属磁性材料。3.根据权利要求1所述的基于磁力驱动的磁电式精密变量传感装置，其特征在于，在所述磁场回路间隙(5)处采用如下任一种形式：-所述磁场回路间隙(5)为空气间隙；-所述磁场回路间隙(5)处填充热敏材料；-所述磁场回路间隙(5)处填充湿度敏感材料；-所述磁场回路间隙(5)处填充气味敏感材料；-所述磁场回路间隙(5)处...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨斌堂，杨诣坤，
申请(专利权)人：杨斌堂，
类型：新型
国别省市：上海,31