磁传感装置及其制备方法制造方法及图纸

本发明专利技术揭示了一种磁传感装置及其制备方法，所述磁传感装置包括基底、导磁单元、感应单元、隔离单元；基底表面开有沟槽；导磁单元的主体部分设置于沟槽内，并有部分露出沟槽，用以感应第三方向的磁信号，并将该磁信号输出到感应单元进行测量；感应单元用以测量第一方向或/和第二方向的磁场，结合导磁单元输出的磁信号后能测量被导磁单元引导到第一方向或/和第二方向测量的第三方向磁场；感应单元包括第一磁材料层、电极层，导磁单元的磁材料与第一磁材料层部分断开（由隔离单元分隔），部分连接在一起。本发明专利技术可降低从感应单元流向导磁单元电流的比例，降低OFF-SET，同时导磁单元采集的Z轴磁信号能高效地送入感应单元进行测试，综合性能具有竞争力。

【技术实现步骤摘要】
磁传感装置及其制备方法
本专利技术属于磁传感
，涉及一种传感器，尤其涉及一种三轴磁传感装置；同时，本专利技术还涉及一种三轴磁传感装置的制备方法。
技术介绍
电子罗盘是磁传感器的重要应用领域之一，随着近年来消费电子的迅猛发展，除了导航系统之外，还有越来越多的智能手机和平板电脑也开始标配电子罗盘，给用户带来很大的应用便利，近年来，磁传感器的需求也开始从两轴向三轴发展。两轴的磁传感器，即平面磁传感器，可以用来测量平面上的磁场强度和方向，可以用X和Y轴两个方向来表示。AMR磁传感器采用各向异性磁致电阻（AnisotropicMagneto-Resistance）材料来检测空间中磁感应强度的大小。为了使测量结果以线性的方式变化，AMR阵列上的金属导线呈45°角倾斜排列，电流从AMR材料上流过经金属导线后电流的流向与AMR线的角度旋转45°，如图1所示即在没有外加磁场的情况下AMR线自极化方向与电流呈现45°的夹角。当存在外界磁场Ha时，AMR单元上的极化方向就会发生变化而不再是初始的方向，那么磁场方向M和电流I的夹角θ也会发生变化，如图2所示,从而引起AMR自身阻值的变化。通过对AMR单本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁传感装置，其特征在于，所述装置包括第三方向磁传感部件，该第三方向磁传感部件包括：‑基底，其表面开有沟槽；‑导磁单元，其主体部分设置于沟槽内，并有部分露出沟槽至基底表面，用以感应第三方向的磁信号，并将该磁信号输出到感应单元进行测量；‑感应单元，用以测量第一方向或/和第二方向的磁场，结合导磁单元输出的磁信号，能测量被导磁单元引导到第一方向或/和第二方向测量的第三方向磁场；第一方向、第二方向、第三方向两两相互垂直；所述感应单元包括第一磁材料层、电极层，所述导磁单元、第一磁材料层部分由隔离单元断开，部分连接在一起；所述电极层包括平行设置的若干电极，所述导磁单元靠近各电极的一侧设有若干隔离通孔，隔...

【技术特征摘要】
1.一种磁传感装置，其特征在于，所述装置包括第三方向磁传感部件，该第三方向磁传感部件包括：-基底，其表面开有沟槽；-导磁单元，其主体部分设置于沟槽内，并有部分露出沟槽至基底表面，用以感应第三方向的磁信号，并将该磁信号输出到感应单元进行测量；-感应单元，用以测量第一方向或/和第二方向的磁场，结合导磁单元输出的磁信号，能测量被导磁单元引导到第一方向或/和第二方向测量的第三方向磁场；第一方向、第二方向、第三方向两两相互垂直；所述感应单元包括第一磁材料层、电极层，所述导磁单元、第一磁材料层部分由隔离单元断开，部分连接在一起；所述电极层包括平行设置的若干电极，所述导磁单元靠近各电极的一侧设有若干隔离通孔，隔离通孔贴近对应的电极设置，隔离通孔恰好将电极与导磁单元部分或者完全分隔开；所述磁传感装置还包括第一磁传感器、第二磁传感器，分别用以感应与基底表面平行的第一方向、第二方向的磁信号；第一方向、第二方向相互垂直。2.根据权利要求1所述的磁传感装置，其特征在于：感应单元的第一磁材料层、电极层之间有绝缘介质材料层。3.一种磁传感装置，其特征在于，所述装置包括第三方向磁传感部件，该第三方向磁传感部件包括：基底，其表面开有沟槽；导磁单元，其主体部分设置于沟槽内，并有部分露出沟槽至基底表面，用以感应第三方向的磁信号，并将该磁信号输出到感应单元进行测量；感应单元，用以测量第一方向或/和第二方向的磁场，结合导磁单元输出的磁信号，能测量被导磁单元引导到第一方向或/和第二方向测量的第三方向磁场；第一方向、第二方向、第三方向两两相互垂直；所述感应单元包括第一磁材料层、电极层，所述导磁单元、第一磁材料层部分由隔离单元断开，部分连接在一起。4.根据权利要求3所述的磁传感装置，其特征在于：所述磁传感装置还包括第一磁传感器、第二磁传感器，分别用以感应与基底表面平行的第一方向、第二方向的磁信号；第一方向、第二方向相互垂直。5.根据权利要求3所述的磁传感装置，其特征在于：所述导磁单元包括四个导磁子单元，分别为第一导磁子单元、第二导磁子单元、第三导磁子单元、第四导磁子单元；所述感应单元包括四个感应子单元，分别为第一感应子单元、第二感应子单元、第三感应子单元、第四感应子单元；所述第一导磁子单元与第一感应子单元配合，作为第三方向磁传感部件的第一感应模块；所述第二导磁子单元与第二感应子单元配合，作为第三方向磁传感部件的第二感应模块；所述第三导磁子单元与第三感应子单元配合，作为第三方向磁传感部件的第三感应模块；所述第四导磁子单元与第四感应子单元配合；作为第三方向磁传感部件的第四感应模块；第一感应子单元、第二感应子单元、第三感应子单元、第四感应子单元均包括磁材料层，该磁材料层的磁材料的电阻随着磁场强度的方向变化；所述基底设有一列或若干列沟槽，一列沟槽由一个长沟槽构成，或者一列沟槽包括若干子沟槽；各导磁子单元包括若干磁性构件，各磁性构件的主体部分设置于对应的沟槽内，并有部分露出于沟槽外。6.根据权利要求3所述的磁传感装置，其特征在于：所述导磁单元包括分别设置于沟槽的两侧的第一导磁部分、第二导磁部分；第一导磁部分、第二导磁部分的主体部分设置于沟槽内，并有部分露出沟槽至基底表面；第一导磁部分及第二导磁部分用以收集垂直方向的磁场信号，并...

【专利技术属性】
技术研发人员：张挺，张开明，万虹，王宇翔，
申请(专利权)人：上海矽睿科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31