空气流量传感器及其制造方法技术

本发明专利技术公开了一种空气流量传感器及其制造方法。其中，所述空气流量传感器包括：半导体衬底；在所述半导体衬底上面设有隔热的绝缘层；在所述绝缘层上依次设有环境空气测温电阻、上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻；分别与所述环境空气测温电阻、上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻独立连接的多个端子电极；其中，将所述半导体衬底对应所述上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻的区域作为空气流量测量区，所述半导体衬底对应所述流量测量区的底部具有空腔，在所述空腔内设有支撑结构。本发明专利技术不仅解决了在恶劣环境下，空气流量传感器受外界颠簸而易损坏的问题，还解决了现有空气流量传感器的测量范围和精度无法匹配汽车设计需要的问题。

Air flow sensor and its manufacturing method

The invention discloses an air flow sensor and a manufacturing method. Among them, the air flow sensor includes a semiconductor substrate; an insulating layer on the semiconductor substrate is arranged above the heat insulation; in the insulating layer are provided on the ambient air temperature resistance, temperature resistance, heat resistance of upstream and downstream temperature resistance; a plurality of terminal electrodes respectively connected with the environmental temperature, air resistance the upstream and downstream of the heating resistor, temperature resistance, temperature resistance; wherein, the semiconductor substrate corresponding to the upstream and downstream of the heating resistor, temperature resistance, temperature resistance of the region as the air flow measurement area, the semiconductor substrate corresponding to the flow measurement area at the bottom of a cavity, the support structure is arranged in the cavity. The invention not only solves the problem that the air flow sensor is easily damaged by external bumping in harsh environment, but also solves the problem that the measuring range and accuracy of the existing air flow sensor can not match the needs of vehicle design.

【技术实现步骤摘要】
空气流量传感器及其制造方法
本专利技术实施例涉及半导体技术，尤其涉及一种空气流量传感器及其制造方法。
技术介绍
空气流量计是将吸入的空气流量转换成电信号的器具。空气流量计的工作原理是通过测量空气流经发热电阻所产生的发热电阻周围空气的温度差，并按照预设的温度差与空气流量的对应关系，确定当前的流入的空气量。在空气流量计中包含用于测量温度差的空气流量传感器和计算电路。在汽车等内燃机的电子控制系统中，空气流量传感器用于提供帮助计算流入空气量的温度差。由于汽车使用环境较为恶劣，车辆的震动等机械干扰易导致空气流量传感器中的测量电路被震坏。为此，目前空气流量传感器中测量电路通常较短。较短的测量电路使得量程和精度都受限。因此，需要对现有技术进行改进。
技术实现思路
本专利技术提供一种空气流量传感器及其制造方法，以解决现有技术中测量电路的精度与环境适应能力不可兼得的问题。第一方面，本专利技术实施例提供了一种空气流量传感器，包括：半导体衬底；在所述半导体衬底上面设有隔热的绝缘层；在所述绝缘层上依次设有环境空气测温电阻、上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻；分别与所述环境空气测温电阻、上游测温电阻、发热电阻和本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种空气流量传感器，其特征在于，包括：半导体衬底；在所述半导体衬底上面设有隔热的绝缘层；在所述隔热绝缘层上依次设有环境空气测温电阻、上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻；分别与所述环境空气测温电阻、上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻独立连接的多个端子电极；其中，将所述半导体衬底对应所述上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻的区域作为流量测量区，所述半导体衬底对应所述流量测量区的底部具有空腔，在所述空腔内设有支撑结构。

【技术特征摘要】
1.一种空气流量传感器，其特征在于，包括：半导体衬底；在所述半导体衬底上面设有隔热的绝缘层；在所述隔热绝缘层上依次设有环境空气测温电阻、上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻；分别与所述环境空气测温电阻、上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻独立连接的多个端子电极；其中，将所述半导体衬底对应所述上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻的区域作为流量测量区，所述半导体衬底对应所述流量测量区的底部具有空腔，在所述空腔内设有支撑结构。2.根据权利要求1所述的空气流量传感器，其特征在于，所述环境空气测温电阻、上游测温电阻、发热电阻、和下游测温电阻均为蛇形弯折结构。3.根据权利要求1所述的空气流量传感器，其特征在于，所述支撑结构位于所述空腔沿空气流向的至少一个边缘处、或沿空气流向横跨所述空腔。4.根据权利要求1所述的空气流量传感器，其特征在于，所述环境空气测温电阻、上游测温电阻、发热电阻、下游测温电阻和各端子电极为第一金属材料；所述上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻中受支撑结构散热影响的部分，覆盖有导电率高于所述第一金属的第二金属。5.根据权利要求4所述的空气流量传感器，其特征在于，各所述端子电极的第一金属层上还覆有所述第二金属。6.根据权利要求1所述的空气流量传感器，其特征在于，在所述环境空气测温电阻、上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻上均覆盖绝缘防护层。7.根据权利要求1或6所述的空气流量传感器，其特征在于，还包括：在所述流量测量区的内侧边缘两侧设有贯通各绝缘层的隔热凹槽，其中，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：缪建民，陈欣悦，
申请(专利权)人：上海微联传感科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31