弹性波装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种难以产生施加了由热造成的应力时的破坏的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，在安装基板(2)上安装有弹性波元件(5)，弹性波元件(5)用密封树脂层(12)进行密封。弹性波元件(5)使用凸块(10、11)与安装基板(2)的电极连接盘(3、4)接合。在密封树脂层(12)的与安装基板(2)相反侧的面(12a)，设置有凹部(13a～13d)。凹部(13a～13d)的深度(D)与从面(12a)到压电基板(6)的第二主面(6b)的密封树脂层部分的距离(H)的比(D/H)为1/3以上。

Elastic wave device

The present invention provides an elastic wave device that is difficult to produce damage caused by stress caused by heat. An elastic wave device (1) is installed with an elastic wave element (5) on the installation substrate (2), and an elastic wave element (5) is sealed with a sealed resin layer (12). The elastic wave element (5) uses a convex block (10, 11) to engage an electrode connection plate (3, 4) with the mounting substrate (2). A concave part (13a to 13D) is arranged in the face (12a) on the opposite side of the sealing resin layer (12) and the opposite side of the mounting substrate (2). The ratio of the depth (D) of the concave (13a to 13D) to the sealing resin layer part of the second main surface (6b) of the piezoelectric substrate (6) (H) is more than 1/3 (D/H).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置
本专利技术涉及通过密封树脂层密封有弹性波元件的弹性波装置。
技术介绍
近年来，强烈要求电子部件的薄型化以及小型化。在下述的专利文献1公开了具有中空构造的弹性波装置。在专利文献1中，在安装基板上使用凸块安装有弹性波元件。弹性波元件的IDT电极与安装基板对置。在IDT电极与安装基板之间设置有中空空间。设置有密封树脂层，使得覆盖弹性波元件的周围。示出了在密封树脂层的上表面使用激光等打印了标记的结构。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2014-112607号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题在使用激光等在密封树脂层的上表面打印标记的方法中，被打印的部分成为凹部。因为形成有凹部，所以在施加了由热造成的应力的情况下，也可能产生弹性波装置的破坏。本专利技术的目的在于，提供一种在施加了由热造成的应力的情况下难以产生破坏的弹性波装置。解决课题的技术方案本专利技术涉及的弹性波装置，具备：安装基板；电极连接盘，设置在所述安装基板上；弹性波元件，具有压电基板和IDT电极，所述压电基板具有相互对置的第一主面以及第二主面，所述IDT电极设置在所述压电基板的所述第一主面上，所述弹性波元件搭载在所述安装基板，使得所述第一主面与所述安装基板的所述电极连接盘隔开间隙而对置；多个凸块，将所述弹性波元件接合到所述电极连接盘；以及密封树脂层，设置为覆盖搭载在所述安装基板的所述弹性波元件，将所述间隙的部分作为中空部，在所述密封树脂层的与所述安装基板相反侧的面设置有凹部，所述凹部的深度为从所述压电基板的所述第二主面到所述密封树脂层的与所述安装基板相反侧的面的距离的1/3以上。在本专利技术涉及的弹性波装置的某个特定的局面中，在从所述密封树脂层的与所述安装基板相反侧的面俯视的情况下，所述凹部位于凸块之间。在该情况下，能够更进一步抑制施加了热应力时的破坏。在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，在所述多个凸块中，所述凹部位于全部的凸块之间。在该情况下，更加难以产生由热应力造成的破坏。在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，所述凹部的底位于比所述压电基板的所述第二主面更靠所述密封树脂层的与所述安装基板相反侧的面侧，在所述凹部的底与所述压电基板的所述第二主面之间存在密封树脂层部分。在该情况下，更加难以产生由热应力造成的破坏。在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，在从所述密封树脂层的与所述安装基板相反侧的面俯视的情况下，所述凹部位于所述IDT电极所面向的所述中空部外。在该情况下，难以产生由凹部的形成造成的强度的下降。在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，在从所述密封树脂层的与所述安装基板相反侧的面俯视的情况下，所述凹部与所述IDT电极相互不重叠。在该情况下，更加难以产生由凹部的形成造成的机械强度的下降。在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，所述凹部构成了文字或数字。在该情况下，能够利用凹部显示与弹性波装置相关的信息、制造批次信息等。专利技术效果根据本专利技术，能够提供一种难以产生施加了由热造成的应力时的破坏的弹性波装置。附图说明图1(a)以及图1(b)是本专利技术的第一实施方式涉及的弹性波装置的俯视图以及沿图1(a)中的B-B线的剖视图。图2是示出比D/H与置于85℃的温度的情况下的施加于弹性波元件的长边方向端部的应力的关系的图。图3是本专利技术的第二实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图。图4是本专利技术的第三实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图。图5是示出第二实施方式的弹性波装置中的压电基板以及密封树脂层的长边方向位置与在高温下施加的应力的关系的图。图6是示出第三实施方式的弹性波装置中的压电基板以及密封树脂层的长边方向位置与在高温下施加的应力的关系的图。图7是本专利技术的第四实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。图8是本专利技术的第五实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的具体的实施方式进行说明，从而明确本专利技术。另外，需要指出的是，本说明书记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式间进行结构的部分置换或组合。图1(a)以及图1(b)是本专利技术的第一实施方式涉及的弹性波装置的俯视图以及沿图1(a)中的B-B线的剖视图。弹性波装置1具有安装基板2。安装基板2由氧化铝等绝缘性陶瓷或者半导体陶瓷等构成。此外，安装基板2也可以由陶瓷以外的材料形成。在安装基板2的上表面，设置有多个电极连接盘3、4。电极连接盘3、4由Al、Cu、Ag或它们的合金等适当的金属构成。在安装基板2上安装有弹性波元件5。弹性波元件5具有压电基板6。压电基板6由钽酸锂、铌酸锂等压电单晶构成。不过，压电基板6也可以由压电陶瓷构成。压电基板6具有相互对置的第一主面6a以及第二主面6b。在第一主面6a上设置有IDT电极7。IDT电极7所面向的中空部A设置在第一主面6a与安装基板2之间。与IDT电极7电连接的电极连接盘8、9设置在第一主面6a上。电极连接盘8、9通过凸块10、11与电极连接盘3、4接合。电极连接盘8、9由适当的金属或者合金构成。关于凸块10、11，也由焊锡、Au等适当的金属构成。弹性波装置1配置为压电基板6的第一主面6a与安装基板2对置。由此，形成了前述的中空部A。另一方面，为了对弹性波元件5进行密封，设置有密封树脂层12，使得覆盖弹性波元件5的周围。密封树脂层12由环氧树脂等适当的合成树脂构成。上述密封树脂层12设置为，除中空部A以外覆盖弹性波元件5。另一方面，在密封树脂层12的与安装基板2相反侧的面12a上，设置有X方向尺寸相对于面12a的X方向尺寸为10％的凹部13a。如图1(a)所示，在本实施方式中，设置有多个凹部13a～13d。在图1(a)中，用虚线的圆示出设置在密封树脂层12的下方的凸块10、11、10A、11A的位置。即，前述的凸块10、11位于凹部13a的两侧。此外，还有凸块10A、11A位于凹部13b的两侧。在本实施方式中，密封树脂层12以及压电基板6具有矩形的平面形状，该矩形具有长边和短边。上述凸块10、11位于压电基板6的一个长边的一端侧以及另一端侧。凹部13a在该长边位于中央。在另一个长边侧，凸块10A位于一端侧，凸块11A位于另一端侧。凹部13b在该长边位于中央。此外，凹部13c位于凸块10、10A所位于的短边侧中央。同样地，在另一个短边侧，凹部13d位于凸块11、11A间的中央部分。换言之，凹部13a～13d位于相邻的一对凸块之间。将凹部13a～13d的深度，即，从密封树脂层12的与安装基板2相反侧的面12a到凹部13a～13d的底面的尺寸设为深度D。另一方面，将上述密封树脂层12的与安装基板2相反侧的面12a与压电基板6的第二主面6b之间的距离设为H。深度D相对于距离H的比D/H被设为1/3以上。由此，在弹性波装置1中，通过凹部13a～13d，能够减小施加了热应力时的施加于弹性波元件5的长边方向端部C的应力。因此，能够抑制包括压电基板6的弹性波元件5的破坏。关于此，对具体的实验例进行说明。图2是示出在上述实施方式的弹性波装置1中使上述凹部13a～13d的深度D与上述距离H的比D/H变化的情况下的、与85℃的高温下的施加于弹性波元件5的长边方向端部的应力的关系的图。另外，该长边方向端部处的应力是通过有限元法求本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种弹性波装置，具备：安装基板；电极连接盘，设置在所述安装基板上；弹性波元件，具有：压电基板，具有相互对置的第一主面以及第二主面；以及IDT电极，设置在所述压电基板的所述第一主面上，所述弹性波元件搭载在所述安装基板，使得所述第一主面与所述安装基板的所述电极连接盘隔开间隙而对置；多个凸块，将所述弹性波元件接合到所述电极连接盘；以及密封树脂层，设置为覆盖搭载在所述安装基板的所述弹性波元件，将所述间隙的部分作为中空部，在所述密封树脂层的与所述安装基板相反侧的面设置有凹部，所述凹部的深度为从所述压电基板的所述第二主面到所述密封树脂层的与所述安装基板相反侧的面的距离的1/3以上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.06.08 JP 2015-1157991.一种弹性波装置，具备：安装基板；电极连接盘，设置在所述安装基板上；弹性波元件，具有：压电基板，具有相互对置的第一主面以及第二主面；以及IDT电极，设置在所述压电基板的所述第一主面上，所述弹性波元件搭载在所述安装基板，使得所述第一主面与所述安装基板的所述电极连接盘隔开间隙而对置；多个凸块，将所述弹性波元件接合到所述电极连接盘；以及密封树脂层，设置为覆盖搭载在所述安装基板的所述弹性波元件，将所述间隙的部分作为中空部，在所述密封树脂层的与所述安装基板相反侧的面设置有凹部，所述凹部的深度为从所述压电基板的所述第二主面到所述密封树脂层的与所述安装基板相反侧的面的距离的1/3以上。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，在从所述密封树脂层的...

【专利技术属性】
技术研发人员：上坂健一，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP