弹性波滤波器装置制造方法及图纸

提供散热性优异、衰减特性的劣化难以产生的弹性波滤波器装置。弹性波滤波器装置，在压电基板(2)的第1主面(2a)上设置有IDT电极(3、4)及第1、第2电极连接盘(5a、6a)，通过压电基板(2)、支承层(13)与罩盖构件(14)构成中空部(A)。在压电基板(2)的第2主面(2b)设置有信号端子(7a)、接地端子(8a)和热扩散层(9)。第1、第2电极连接盘(5a、6a)通过第1、第2连接电极(10、11)而分别电连接于信号端子(7a)及接地端子(8a)。热扩散层(9)设置于隔着压电基板(2)而与IDT电极(3、4)的至少一部分重合的位置。

Elastic wave filter device

An elastic wave filter which is difficult to produce by excellent heat dissipation and attenuation characteristics. The elastic wave filter device has IDT electrodes (3, 4), 1 and second electrode connecting plates (5a and 6a) on the first main surfaces (2a) of the piezoelectric substrate (2), and forms hollow parts (A) through piezoelectric substrates (2), supporting layers (13) and cover components (14). The second main surface (2b) of the piezoelectric substrate (2) is provided with a signal terminal (7a), a grounding terminal (8a) and a thermal diffusion layer (9). The first, second electrode connection plates (5a, 6a) are electrically connected to the signal terminals (7a) and the ground terminal (8a) by first, second connected electrodes (10, 11). The heat diffusion layer (9) is arranged in a position where the piezoelectric substrate (2) is overlapped with at least part of the IDT electrode (3, 4).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波滤波器装置
本专利技术涉及具备弹性波滤波器元件、和搭载有弹性波滤波器元件的安装基板的弹性波滤波器装置。
技术介绍
在下述专利文献1所述的弹性波滤波器装置中，在压电基板上设置有IDT电极及与IDT电极连接的布线电极。在设置有IDT电极及布线电极的部分的周围，设置有金属框所组成的框材。盖材被设置成覆盖该框材的开口。由此，形成IDT电极及布线电极面向的中空空间。在压电基板设置有多个贯通电极。贯通电极的一端与上述布线电极电连接。贯通电极的另一端和被设置在压电基板的下表面的端子电极电连接。在先技术文献专利文献专利文献1：JP特开2009-159195号公报
技术实现思路
-专利技术所要解决的技术问题-上述弹性波滤波器装置在使用时从端子电极侧被安装于安装基板上。另一方面，在弹性波滤波器装置中，在驱动时在IDT电极中产生热。该热经由前述的布线电极及贯通电极而抵达端子电极。因此，从端子电极有几分热被发散。然而，在隔着压电基板而与IDT电极部分对置的压电基板方下方部分，存在树脂或空气等导热性低的材料。因而，散热性并不充分。再有，被用作压电基板的压电材料的介电常数比较高。因而，也会存在贯通电极间的静电电容大、且衰减特性不充分的问题。本专利技术的目的在于，提供一种散热性优异、且衰减特性的劣化难以产生的弹性波滤波器装置。-用于解决技术问题的手段-本专利技术涉及的弹性波滤波器装置，具备：元件基板，具有压电体层且具有相面对的第1及第2主面；至少1个IDT电极，被设置于所述元件基板的所述第1主面，且用于构成弹性波滤波器元件；第1电极连接盘及多个第2电极连接盘，被设置于所述元件基板的所述第1主面，且与至少1个所述IDT电极连接，其中所述第1电极连接盘与信号电位连接，所述多个第2电极连接盘与接地电位连接；信号端子及多个接地端子，被设置于所述元件基板的所述第2主面，其中所述信号端子与信号电位连接，所述多个连接端子与接地电位连接；第1连接电极，对所述第1电极连接盘和所述信号端子进行连接；第2连接电极，对所述第2电极连接盘和所述接地端子进行连接；支承层，被设置于所述元件基板的所述第1主面；和罩盖构件，被设置于所述支承层。通过所述支承层、所述罩盖构件和所述压电基板的所述第1主面形成了所述IDT电极所面向的中空部，该弹性波滤波器装置还具备热扩散层，被设置于所述元件基板的所述第2主面，且由热传导率比所述元件基板还高的材料组成。所述热扩散层隔着所述元件基板而与所述IDT电极的至少一部分重叠。本专利技术涉及的弹性波滤波器装置的某一特定的方面中，所述热扩散层与至少1个所述第2连接电极连接。本专利技术涉及的弹性波滤波器装置的其他特定的方面中，所述热扩散层由金属组成。该情况下，能够进一步提高散热性。本专利技术涉及的弹性波滤波器装置的其他特定的方面中，所述热扩散层的面积大于所述信号端子的面积。该情况下，能够有效地提高散热性。本专利技术涉及的弹性波滤波器装置的另外的特定的方面中，所述第1及第2连接电极将所述元件基板的内部贯通。该情况下，能够谋求弹性波滤波器装置的小型化。本专利技术涉及的弹性波滤波器装置的又一特定的方面中，所述元件基板具有对所述第1主面与所述第2主面进行连结的侧面，所述第1及第2连接电极被设置于所述侧面。本专利技术涉及的弹性波滤波器装置的其他特定的方面中，所述第1及第2连接电极及所述热扩散层由镀膜组成。该情况下，能够通过镀覆法容易地形成第1、第2连接电极及热扩散层。本专利技术涉及的弹性波滤波器装置的再一特定的方面中，在所述元件基板的所述第2主面设置有多个所述信号端子，夹着所述热扩散层而在一侧配置有至少1个信号端子，在所述热扩散层的另一侧配置有余下的至少1个所述信号端子。该情况下，能够提高信号端子间的隔离度。因此，衰减特性的劣化进一步难以产生。本专利技术涉及的弹性波滤波器装置的又一特定的方面中，所述元件基板是由压电体层组成的压电基板。本专利技术涉及的弹性波滤波器装置的再一特定的方面中，所述元件基板具有支承基板、和被设置于所述支承基板上的所述压电体层。-专利技术效果-根据本专利技术，能够提供一种散热性优异、且衰减特性的劣化难以产生的弹性波滤波器装置。附图说明图1是表示本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波滤波器装置被搭载于安装基板上的部分的部分缺口主剖视图。图2是本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波滤波器装置的主剖视图。图3是本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波滤波器装置的仰视图。图4是表示本专利技术的第1实施方式的作为实施例的双工器的发送滤波器的衰减量频率特性及比较例的双工器的发送滤波器的衰减量频率特性的图。图5是表示本专利技术的第1实施方式的作为实施例的双工器的接收滤波器的衰减量频率特性及比较例的双工器的接收滤波器的衰减量频率特性的图。图6是表示本专利技术的第1实施方式的作为实施例的双工器的发送滤波器的隔离特性及比较例的双工器的发送滤波器的隔离特性的图。图7是本专利技术的第2实施方式涉及的弹性波滤波器装置的仰视图。图8是本专利技术的第3实施方式涉及的弹性波滤波器装置的仰视图。图9是表示在本专利技术的第3实施方式涉及的弹性波滤波器装置中使压电基板的厚度变化为50μm、80μm或125μm的情况下向IDT电极3(形成发送滤波器的多个IDT)施加了电力时的热仿真结果的图。图10是本专利技术的第4实施方式涉及的弹性波滤波器装置的主剖视图。图11是本专利技术的第5实施方式涉及的弹性波滤波器装置的仰视图。图12是本专利技术的第6实施方式涉及的弹性波滤波器装置的仰视图。图13是本专利技术的第7实施方式涉及的弹性波滤波器装置的仰视图。图14是本专利技术的第8实施方式涉及的弹性波滤波器装置的仰视图。图15是本专利技术的第9实施方式涉及的弹性波滤波器装置的主剖视图。图16是本专利技术的第10实施方式涉及的弹性波滤波器装置的仰视图。图17是本专利技术的第11实施方式涉及的弹性波滤波器装置的仰视图。图18是本专利技术的第12实施方式涉及的弹性波滤波器装置的主剖视图。图19是本专利技术的第13实施方式涉及的弹性波滤波器装置的主剖视图。图20是表示本专利技术的第14实施方式涉及的弹性波滤波器装置被搭载于安装基板上的部分的部分缺口主剖视图。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的具体的实施方式进行说明，由此使得本专利技术明了。其中，本说明书所述的各实施方式是例示性的内容，指出在不同的实施方式间能够实现构成的局部性的置换或组合。图1是表示本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波滤波器装置被搭载于安装基板上的构造的部分缺口主剖视图，图2是第1实施方式涉及的弹性波滤波器装置的主剖视图，图3是其仰视图。本实施方式涉及的弹性波装置1作为一例是双工器。如图2所示，弹性波滤波器装置1具有作为元件基板的压电基板2。即，在本实施方式中，元件基板是一个压电体层所组成的压电基板2。压电基板2由压电单晶体或压电陶瓷等适宜的压电材料组成。作为压电单晶体，能够优选采用LiTaO3或LiNbO3。在压电基板2上设置有IDT电极3、及IDT电极4。IDT电极3构成弹性波谐振器的一部分。该弹性波谐振器是双工器的发送滤波器的1个弹性波谐振器。发送滤波器由多个弹性波谐振器构成。IDT电极4是用于构成接收滤波器的电极。接收滤波器由纵耦合谐振器型弹性波滤波器组成。在压电基板2的第1主面2a上，除了IDT电极3、4之外，还设置有第1电极连接盘5a及第2电极连本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种弹性波滤波器装置，具备：元件基板，具有压电体层且具有相面对的第1主面及第2主面；至少1个IDT电极，被设置于所述元件基板的所述第1主面，且用于构成弹性波滤波器元件；第1电极连接盘及多个第2电极连接盘，被设置于所述元件基板的所述第1主面，且与至少1个所述IDT电极连接，其中所述第1电极连接盘与信号电位连接，多个所述第2电极连接盘与接地电位连接；信号端子及多个接地端子，被设置于所述元件基板的所述第2主面，其中所述信号端子与信号电位连接，多个所述连接端子与接地电位连接；第1连接电极，对所述第1电极连接盘和所述信号端子进行连接；第2连接电极，对所述第2电极连接盘和所述接地端子进行连接；支承层，被设置于所述元件基板的所述第1主面；和罩盖构件，被设置于所述支承层，通过所述支承层、所述罩盖构件和所述压电基板的所述第1主面，形成有所述IDT电极所面向的中空部，该弹性波滤波器装置还具备热扩散层，该热扩散层被设置于所述元件基板的所述第2主面，且由热传导率比所述元件基板还高的材料组成，所述热扩散层隔着所述元件基板而与所述IDT电极的至少一部分重叠。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.06.24 JP 2015-1268021.一种弹性波滤波器装置，具备：元件基板，具有压电体层且具有相面对的第1主面及第2主面；至少1个IDT电极，被设置于所述元件基板的所述第1主面，且用于构成弹性波滤波器元件；第1电极连接盘及多个第2电极连接盘，被设置于所述元件基板的所述第1主面，且与至少1个所述IDT电极连接，其中所述第1电极连接盘与信号电位连接，多个所述第2电极连接盘与接地电位连接；信号端子及多个接地端子，被设置于所述元件基板的所述第2主面，其中所述信号端子与信号电位连接，多个所述连接端子与接地电位连接；第1连接电极，对所述第1电极连接盘和所述信号端子进行连接；第2连接电极，对所述第2电极连接盘和所述接地端子进行连接；支承层，被设置于所述元件基板的所述第1主面；和罩盖构件，被设置于所述支承层，通过所述支承层、所述罩盖构件和所述压电基板的所述第1主面，形成有所述IDT电极所面向的中空部，该弹性波滤波器装置还具备热扩散层，该热扩散层被设置于所述元件基板的所述第2主面，且由热传导率比所述元件基板还高的材料组成，所述热扩散层隔着所述元件基板而与所述IDT电极的至少一部分重叠。2.根据权利要求1所述的弹性波滤波器装...

【专利技术属性】
技术研发人员：川崎幸一郎，菊知拓，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP