电子显微镜用样品室装置及具备其的电子显微镜制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种粒子及光学装置用真空样品室，所述粒子及光学装置用真空样品室在一面设置有粒子束入射的孔径(aperture)，粒子束沿着电子、离子、中性粒子等粒子光轴聚焦，在其相对面设置有光透过的可拆卸式样品支持器，通过粒子束和光可以对样品进行观测或分析，并且实现一种样品室及具备所述样品室的光学‑电子融合显微镜，其在样品出入电子显微镜或聚焦离子束观察装置的样品室时，也保持样品室内部真空，从而缩短观察时间，没有将光源或光学镜筒插入于样品室内部，而是可以从外部获得光学影像。

A sample room device for electron microscopy and its electronic microscope

The invention relates to a particle and optical device for vacuum sample chamber, the particles and optical device using vacuum chamber in the aperture are arranged on one face of the incident particle beam (aperture) along the optical axis, particle beam of electrons and ions, neutral particles and other particles in focus, the opposite set support device is provided with a light through the detachable type sample, through particle beam and light can be observed or analysis of the sample, and a sample chamber and with the sample chamber of the optical fusion electronic microscope, the samples in the sample room and electron microscope or focused ion beam observation device, but also keep the sample chamber vacuum, so as to shorten the observation time no, the light source or the optical tube is inserted into the sample chamber, but can be obtained from the external optical image.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电子显微镜用样品室装置及具备其的电子显微镜
本专利技术涉及一种电子显微镜用样品室装置，更为详细地，涉及一种电子显微镜用样品室装置、具备其的电子显微镜及光学-电子融合显微镜，所述电子显微镜用样品室装置在样品室一面的一部分设置有样品支持器，样品支持器保持真空的同时可拆卸，以及光能够透过，从而改善样品室的真空效率。
技术介绍
扫描电子显微镜(SEM，scanningelectronmicroscope)用聚焦的电子束扫描(scanning)样品，样品位于保持真空的样品室(samplechamber)内，在样品产生的信号中检测出二次电子(secondaryelectron)或背散射电子(backscatteredelectron)，从而对对象样品进行观察。电子非常轻，若与气体分子相冲突，则会反弹，所以若在镜筒内有空气，则电子无法活跃地移动。据此，在电子显微镜或聚焦离子束观察装置的镜筒内保持约10-4至10-10Torr(托，真空压强单位)水准的高真空状态。从镜筒发射的电子束所入射的样品室的真空度要保持为约10-3Torr水准，这是因为若样品室是低真空，则气体会向保持高真空的镜筒逆流。将样品放本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子显微镜用样品室装置，其作为电子显微镜用样品室装置，所述装置包括：真空室，其上面部有从电子束镜筒发射出的电子束所入射的孔径，并且设置有从外部对与所述孔径相面对的下面部的孔进行气密封合的真空保持板；电子检测器，其设置于所述真空室内部；以及样品支持器，其在保持所述真空室的真空的状态下，能够向所述真空保持板的位置水平移动，并且设置有样品槽，所述样品槽进行水平移动，并露出于所述真空室，并且所述真空室、所述样品支持器的材料包括含有X射线的放射性屏蔽部材。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.08.21 KR 10-2015-01177371.一种电子显微镜用样品室装置，其作为电子显微镜用样品室装置，所述装置包括：真空室，其上面部有从电子束镜筒发射出的电子束所入射的孔径，并且设置有从外部对与所述孔径相面对的下面部的孔进行气密封合的真空保持板；电子检测器，其设置于所述真空室内部；以及样品支持器，其在保持所述真空室的真空的状态下，能够向所述真空保持板的位置水平移动，并且设置有样品槽，所述样品槽进行水平移动，并露出于所述真空室，并且所述真空室、所述样品支持器的材料包括含有X射线的放射性屏蔽部材。2.根据权利要求2所述的电子显微镜用样品室装置，其特征在于，所述真空室包括：上面部，其中央设置有所述电子束通过的孔径；下面部，其以与所述上面部相面对的形式设置，并且在与所述上面部的孔径相面对的位置设置有所述电子束能够通过的孔；侧面部，其对所述上面部和所述下面部的棱角进行气密连接，从而在内部形成第一空间，并且设置有真空排气部；环状密封部件，其以保持气密的形式接于所述下面部的所述第一空间外部面，并且环绕所述孔；真空保持板，其以形成有第二空间的形式与所述环状密封部件相接，并且能够水平移动，第二空间与所述环状密封部件所环绕的下面部、所述环状密封部件一起保持气密；轨道部，其以所述样品支持器在与所述环状密封部件相接的状态下能够水平移动的形式进行固定，以便能够以保持所述第二空间的气密的状态推出所述真空保持板，所述样品支持器与所述真空保持板以在之间介入有线形密封部件的形式相接；以及弹性部件，其以朝向形成有所述第二空间的位置的形式向所述真空保持板施加复原力，以便所述真空保持板与所述样品支持器在将线形密封部件介于之间的状态下能够保持气密，所述电子检测器位于所述上面部的所述第一空间内部面。3.根据权利要求2所述的电子显微镜用样品室装置，其特征在于，所述样品支持器是能够与所述真空保持板气密接触的板状，在推出所述真空保持板形成所述第二空间时，在所述第二空间内形成有样品槽，所述样品支持器在与所述环状密封部件相接的状态下水平移动时，所述样品槽确保有段差，以便能够保护样品。4.根据权利要求2所述的电子显微镜用样品室装置，其特征在于，所述电子检测器是二次电子检测器。5.根据权利要求2所述的电子显微镜用样品室装置，其特征在于，所述轨道部设置有紧固部，紧固部在所述真空保持板及所述样品支持器来到所述第二空间的事先规定的位置时对其进行固定。6.根据权利要求1所述的电子显微镜用样品室装置，其特征在于，所述真空室的真空排气部与所述镜筒的真空排气部相连接。7.根据权利要求1所述的电子显微镜用样品室装置，其特征在于，包含可视光线、红外线及紫外线的光线透过所述样品支持器。8.一种电子显微镜用样品室装置，其作为电子显微镜用样品室装置，所述装置包括：第一真空室，其上面部有从电子束镜筒发射出的电子束所入射的孔径，并且设置有从外部对与所述孔径相面对的下面部的孔进行气密封合的真空保持板；第三真空室，其与所述第一真空室相接，同时与所述第一真空室的下面部平行，并利用所述真空保持板对钻有孔的下面部一起进行气密封合；所述第一真空室及所述第三真空室外部连接部；电子检测器，其位于所述第一真空室内部；以及样品支持器，其在保持所述第一及第三真空室的真空的状态下，能够向所述真空保持板的位置水平移动，并且设置有样品槽，所述样品槽进行水平移动，并露出于所述第一真空室或所述第三真空室，并且所述真空室...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵福来，安商丁，薛仁皓，
申请(专利权)人：韩国标准科学研究院，
类型：发明
国别省市：韩国,KR