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一种多进气口的样品室制造技术

技术编号:10677915 阅读:148 留言:0更新日期:2014-11-26 12:19
本实用新型专利技术可以应用于现有主流激光剥蚀技术中,具体涉及一种多进气口的样品室,包括立方体状的样品室壳体和样品室壳体下部的样品靶架,样品室壳体的一组相对的两个侧面上分别开有进气口和出气口,所述进气口的数量为2~5个,水平排列在样品室壳体的侧面上,所有水平排列的进气口所形成的线段的中点与出气口同轴。克服现有的样品室在单一的进气口的作用下使得气溶胶的传输效率不好,最终影响分析结果的正确性的问题,从多个进气口同时进气,有效地将激光剥蚀的气溶胶传输到出气口,合理的尺寸设计,增加了传输效率,使得样品室内边角的气溶胶都能快速被传输,进而有益于分析结果的准确性。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术可以应用于现有主流激光剥蚀技术中,具体涉及一种多进气口的样品室,包括立方体状的样品室壳体和样品室壳体下部的样品靶架,样品室壳体的一组相对的两个侧面上分别开有进气口和出气口,所述进气口的数量为2~5个,水平排列在样品室壳体的侧面上,所有水平排列的进气口所形成的线段的中点与出气口同轴。克服现有的样品室在单一的进气口的作用下使得气溶胶的传输效率不好,最终影响分析结果的正确性的问题,从多个进气口同时进气,有效地将激光剥蚀的气溶胶传输到出气口,合理的尺寸设计,增加了传输效率,使得样品室内边角的气溶胶都能快速被传输,进而有益于分析结果的准确性。【专利说明】—种多进气口的样品室
本技术可以应用于现有主流激光剥蚀技术中,具体涉及一种多进气口的样品室。
技术介绍
激光剥蚀技术因可以实现几十微米的原位微区采样技术,与电感耦合等离子体质谱联用,可以进行样品的主微量元素和同位素组成的原位微区分析。近年来在地质、材料、生物、化学、考古等研究领域得到了广泛的应用。 激光剥蚀技术将激光器产生的激光经过特殊设计的光路聚焦至待研究样品表面,破坏样品的键能产生细微的样品粒子,然后通过载气将剥蚀出的样品粒子(气溶胶)运送到等离子体质谱中进行微量元素或同位素组成的分析。 影响激光剥蚀分析技术分析准确度的一个关键因素是样品在剥蚀和传输过程产生的分馏效应,该分馏效应主要产生于样品剥蚀池中。传统的样品室由于存在剥蚀位置不同而导致剥蚀产生气溶胶及气溶胶传输过程不尽相同,且有些位置存在涡流,导致剥蚀气溶胶不能完全传输至后续分析系统中,从而影响分析结果的正确性。 传统的样品室,一般只有一个进气口,水平贯穿在样品室侧面上,这样在进气的过程中,可能因为单个进气口气体流量较小而使得气溶胶的传输效率过小,而且单一方向的进气,使得很多边角位置的气溶胶不容易被气体所传输,最终影响分析结果的正确性。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有的样品室在单一的进气口的作用下使得气溶胶的传输效率不好,最终影响分析结果的正确性的问题。 为此,本技术提供了一种多进气口的样品室,包括立方体状的样品室壳体和样品室壳体下部的样品靶架,样品室壳体的一组相对的两个侧面上分别开有进气口和出气口,所述进气口的数量为2?5个,水平排列在样品室壳体的侧面上,所有水平排列的进气口所形成的线段的中点与出气口同轴。 所述进气口的截面均为长轴沿水平方向的椭圆形。 所述进气口的个数为3个,中间的进气口与出气口同轴。 所述中间的椭圆形的进气口的长轴长0.3?0.5mm,短轴长0.5?Imm ;两边的椭圆形的进气口的面积大于2mm2,所述出气口为内径大于2mm的圆形。 所述样品祀架上方的样品室壳体的空腔的体积小于1L,且高度为3?10mm。 本技术的有益效果:本技术提供的这种多进气口的样品室,从多个进气口同时进气,有效地将激光剥蚀的气溶胶传输到出气口,合理的尺寸设计,增加了传输效率,使得样品室内边角的气溶胶都能快速被传输,进而有益于分析结果的准确性。 以下将结合附图对本技术做进一步详细说明。 【专利附图】【附图说明】 图1是样品室横切剖面图。 图2是样品室的俯视图。 附图标记说明:1、样品室壳体;2、进气口 ;3、出气口 ;4、样品靶架;5、观察窗。 【具体实施方式】 实施例1: —种多进气口的样品室,如图1和图2所不,包括立方体状的样品室壳体I和样品室壳体I下部的样品靶架4,样品室壳体I的一组相对的两个侧面上分别开有进气口 2和出气口 3,所述进气口 2的数量为2?5个,水平排列在样品室壳体I的侧面上,所有水平排列的进气口 2所形成的线段的中点与出气口 3同轴,从观察窗5能随时观察样品室内的情况。 多个进气口 2同时进气,能够将激光剥蚀形成的气溶胶迅速传输,相比于单个的进气口,能够将一些边角位置的气溶胶快速吹走,提高分析结果的准确性。 实施例2: 在上述实施例的基础上,进气口 2的个数为3个,中间的进气口 2与出气口 3同轴。进气口 2的截面均为长轴沿水平方向的椭圆形。 中间的进气口 2与出气口 3同轴,符合了一般样品室的进气条件,同轴更容易传输,对于两侧的两个进气口,作为辅助的气源,通过调节两边的进气口与中间的进气口的进气量和流速,能够实现控制样品室内最大程度地传输气溶胶;而且,两侧的进气口,能够将边角位置的气溶胶吹动,使其在样品室内流动被吹走,这样,相比与一般的样品室能更全面地传输气溶胶。 实施例3: 本实施例中,中间的椭圆形的进气口 2的长轴长0.3?0.5mm(这里取0.4mm),短轴长0.5?lmm(这里取0.8mm);两边的椭圆形的进气口 2的面积大于2mm2(这里取2.5mm2),所述出气口 3为内径大于2_ (这里取2.5_)的圆形。所述样品靶架4上方的样品室壳体I的空腔的体积小于1L,且高度为3?1mm (这里取5mm)。 通过尺寸关系的计算,这样的尺寸关系,能使进气口的进气量和出气口得出气量相当,而且能最大程度上使得样品室内的气压保持稳定,更容易传输气溶胶,使其平稳地从出气口流出,一定程度上保证了后续分析结果的准确性。 本实施例没有具体描述的部分都属于本
的公知常识和公知技术,如有需要我们可提供参考资料。 以上例举仅仅是对本技术的举例说明,并不构成对本技术的保护范围的限制,凡是与本技术相同或相似的设计均属于本技术的保护范围之内。【权利要求】1.一种多进气口的样品室,包括立方体状的样品室壳体(I)和样品室壳体(I)下部的样品靶架(4 ),样品室壳体(I)的一组相对的两个侧面上分别开有进气口(2)和出气口(3),其特征在于:所述进气口(2)的数量为2?5个,水平排列在样品室壳体(I)的侧面上,所有水平排列的进气口( 2)所形成的线段的中点与出气口( 3)同轴。2.如权利要求1所述的多进气口的样品室,其特征在于:所述进气口(2)的截面均为长轴沿水平方向的椭圆形。3.如权利要求1或2所述的多进气口的样品室,其特征在于:所述进气口(2)的个数为3个,中间的进气口(2)与出气口(3)同轴。4.如权利要求3所述的多进气口的样品室,其特征在于:所述中间的椭圆形的进气口(2)的长轴长0.3?0.5mm,短轴长0.5?Imm ;两边的椭圆形的进气口(2)的面积大于2mm2,所述出气口(3)为内径大于2mm的圆形。5.如权利要求1所述的多进气口的样品室,其特征在于:所述样品靶架(4)上方的样品室壳体(I)的空腔的体积小于1L,且高度为3?10mm。【文档编号】G01N1/44GK203965225SQ201420328208【公开日】2014年11月26日 申请日期:2014年6月19日 优先权日:2014年6月19日 【专利技术者】袁洪林 申请人:袁洪林本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种多进气口的样品室,包括立方体状的样品室壳体(1)和样品室壳体(1)下部的样品靶架(4),样品室壳体(1)的一组相对的两个侧面上分别开有进气口(2)和出气口(3),其特征在于:所述进气口(2)的数量为2~5个,水平排列在样品室壳体(1)的侧面上,所有水平排列的进气口(2)所形成的线段的中点与出气口(3)同轴。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:袁洪林
申请(专利权)人:袁洪林
类型:新型
国别省市:陕西;61

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