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一种多进气口的样品室制造技术
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下载一种多进气口的样品室的技术资料
文档序号:10677915
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本实用新型可以应用于现有主流激光剥蚀技术中,具体涉及一种多进气口的样品室,包括立方体状的样品室壳体和样品室壳体下部的样品靶架,样品室壳体的一组相对的两个侧面上分别开有进气口和出气口,所述进气口的数量为2~5个,水平排列在样品室壳体的侧面上,...
该专利属于袁洪林所有,仅供学习研究参考,未经过袁洪林授权不得商用。
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