具有多引出电极栅网的离子源制造技术

本实用新型专利技术涉及一种具有多引出电极栅网的离子源，其特征在于其栅网板在圆周方向上多个位置预先制作多个引出电极，栅网板在圆周方向上有多个位置可与固定接线桩相连接。本实用新型专利技术的有益之处是，当栅网组在某一方向上蚀刻加重后，则整体旋转栅网组一个角度后再安装，这样定期旋转不同方位安装，可使栅网孔各方向蚀刻磨损均衡，在不降低栅网孔板使用性能的前提下，栅网孔板的使用寿命可延长2至3倍。

Ion source with multi elicited electrode grid

The utility model relates to an ion source with a plurality of extraction electrode grids, which is characterized in that the grid plates are pre fabricated with multiple lead electrodes in multiple positions in the circumferential direction, and there are multiple positions in the circumferential direction of the grid plate, which can be connected with the fixed connection piles. The utility model has the advantages that when the grid group in one direction etching after adding the whole rotating grid group a point after the installation, so regular rotation in different directions of installation, can make the grid mesh in each direction etching wear leveling, without sacrificing the performance of grid mesh plate under the gate mesh board service life can be increased by 2 to 3 times.

【技术实现步骤摘要】
具有多引出电极栅网的离子源
本专利技术涉及一种离子源的离子引出栅网板的设计，属于电子

技术介绍
离子源广泛用于光学真空镀膜、材料表面精细抛光等领域。在高能量的离子源光学辅助镀膜中，离子源离子引出系统的栅极网孔板，既起到用高电压差拉出离子的作用，本身也受到高能离子的撞击产生栅孔边缘的蚀刻磨损，这种蚀刻磨损造成栅孔变形，改变了输出离子束截面能量的分布，缩短了栅网板的使用寿命。
技术实现思路
离子源的离子引出系统，是由几片栅网板间隔叠合成的栅网组，如射频源中的屏极、加速极、抑制极三层栅网组。栅网板上开有规则排列的几千只栅孔，三层栅网板沿轴向间隔排列，不同栅网孔板上开的孔一一对应。通常在每张栅网上的一个固定位置设置一只引出电极，用于与电气设备的连接，三层栅网组成整体后，再将引出电极与接线桩用螺钉固紧，当离子源引出系统结构设计确定后，栅网组与接线桩的安装位置已定，不能再移动。离子源栅网孔板，既起到用高电压差拉出离子的作用，本身也受到高能离子的撞击产生栅孔边缘的蚀刻磨损，对于输出空间扩散形离子束流的离子源，外层栅网孔容易被蚀刻变形，例如射频源的外层抑制极栅网板，栅孔原本是直径1.8毫米的圆本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有多引出电极栅网的离子源，其特征在于其栅网板在圆周方向上多个位置预先制作多个引出电极，栅网板在圆周方向上有多个位置可与固定接线桩相连接。

【技术特征摘要】
1.一种具有多引出电极栅网的离子源，其特征在于其栅网板在圆周方向上多个位置预先制作多个引出电极，栅网板在圆周方向上有多个位置可与固定接线桩相连接。2.如权利要求1所述的离子源，其特征在于其栅网板上多个引出电极是轴对称均匀分布的。3.如权利要求1所述的离子源，其特征在于其栅网板上多个引出电极是圆周方...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘杰，刘康，
申请(专利权)人：上海伟钊光学科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31