棱镜光束平移平行差测量装置制造方法及图纸

技术编号:31356505 阅读:26 留言:0更新日期:2021-12-13 09:12
本实用新型专利技术公开了一种棱镜光束平移平行差测量装置,包括测试光源,用以输出一检测光信号;承载台,设置于沿所述检测光信号前进方向、且与所述测试光源相邻设置,用以承载一棱镜,所述棱镜接收所述检测光信号,并对所述检测光信号做折射和/或反射处理以形成一输出光信号;显示单元,设置于所述输出光信号前进方向、且于所述承载台间隔一预定距离,用以显示所述输出光信号。该棱镜光束平移平行差测量装置,通过设置测试光源、承载台及显示单元形成的测试装置,能够快速、准确测量微小棱镜的光束平行差。束平行差。束平行差。

【技术实现步骤摘要】
棱镜光束平移平行差测量装置


[0001]本技术涉及精密光学测量
,具体为一种棱镜光束平移平行差测量装置。

技术介绍

[0002]精密光学仪器及设备使用微小而高精度的平移棱镜,在光路中插入平移棱镜后,光束被平行移位。平移棱镜的截面形状有多种,例如斜方棱镜、菱形棱镜、潜望棱镜、六角棱镜、矩形棱镜,或者非单体的胶合棱镜,此类平移棱镜加工和检测的要求较高。典型的如斜方棱镜,如图1和图2所示,图1为斜方棱镜的结构图,左侧的平行光束来光经棱镜的第一入射面1

及第一出射面2

透射及第一反射面3

及第二反射面4

反射后出射,出射光束向下方平移一段距离,如果在第一反射面3

或第二反射面4

镀膜,又可起到偏振分束器PBS(Polarization Beam Splitter)或干涉滤光器WDM(Wavelength Division Multiplex)的作用。但经斜方棱镜出射光的方向和未插入棱镜时的光束方向之间,可能产生角度为α的偏差或“平行差”。对于要求高的应用场合,这种平行差要达到秒级。
[0003]图2为斜方棱镜的立体结构图,斜方棱镜的典型尺寸长、宽及高为0.7*0.7*0.7mm,∠A和∠B为45
°
,第一反射面3

及第二反射面4

为边长为1mm的斜边。斜方棱镜的加工过程,第一步以较大的平板玻璃先抛光出第一反射面3

第二反射面4

,平行差可达到秒级,将大片切割成细长条后,以45
°
角加工出第一入射面1,然后以“光胶”工艺,加工第一出射面2。由于上盘定位面尺寸过小,上盘、加工后实际的第一入射面1和第一出射面2的平行差可能进入分级,由于棱镜的尺寸小,采用比较测角仪、平面干涉仪等传统的测量方法难以测量,或测量效率很低。

技术实现思路

[0004]针对现有检测技术的不足,本技术提供了一种棱镜光束平移平行差测量装置,能够快速、准确测量微小棱镜的光束平行差。
[0005]为实现以上目的,本技术通过以下技术方案予以实现:棱镜光束平移平行差测量装置,包括:
[0006]测试光源,用以输出一检测光信号;
[0007]承载台,设置于沿所述检测光信号前进方向、且与所述测试光源相邻设置,用以承载一棱镜,所述棱镜接收所述检测光信号,并对所述检测光信号做折射和/或反射以形成一输出光信号;
[0008]显示单元,设置于所述输出光信号前进方向、且于所述承载台间隔一预定距离,用以显示所述输出光信号。
[0009]较佳地,还包括一检测装置,设置于所述测试光源与所述承载台之间,用以控制所述检测光信号的输入状态。
[0010]较佳地,所述检测装置中间设置光孔,所述光孔用以控制所述检测光信号的入射
垂直度;
[0011]所述棱镜接收检测光信号并对检测光信号做折射和/或反射以形成输出光信号。
[0012]较佳地,所述承载台为测试旋转台。
[0013]较佳地,于所述测试旋转台的一端设置有一支撑装置,所述棱镜与支撑装置相邻设置。
[0014]较佳地,所述测试旋转台包括一容纳所述棱镜的阶梯台面,所述棱镜设置于阶梯台面上。
[0015]更佳地,所述测试旋转台用以调节所述棱镜以使得测试光源于所述显示单元上形成测试光斑。
[0016]较佳地,所述显示单元为光斑分析仪。
[0017]较佳地,所述测试光源为光纤准直器或氦氖激光器或准直输出的激光笔。
[0018]较佳地,所述棱镜的截面形状为斜方棱镜,或菱形棱镜,潜望棱镜,六角棱镜,矩形棱镜,或胶合而成的此类棱镜。
[0019]本技术具备以下有益效果:
[0020]1、通过设置测试光源、承载台及显示单元形成的测试装置,能够实现测量微小棱镜的光束平行差,也可以应用于一般尺寸的棱镜光束平行差的测量,测量范围广;
[0021]2、通过将显示单元设置成光斑分析仪,通光分析光点的输出光信号的轮廓可以精准确定光斑的中心位置,提高棱镜光束平行差的测量精度;
[0022]3、通过设置具有光孔的检测装置,检测光信号经过所述光孔控制检测光信号的入射垂直度以形成检测光信号,确保检测光信号的入射垂直度,提高棱镜光束平行差的测量精度;
[0023]4、通过将承载台为测试旋转台,于所述测试旋转台的一端设置有一支撑装置,所述棱镜与支撑装置相邻设置,测试旋转台可通过两次测量消除测试系统中存在的系统误差,降低对光束平行差的误判。
附图说明
[0024]图1为现有技术中斜方棱镜的结构图;
[0025]图2为现有技术中斜方棱镜的立体图;
[0026]图3为斜方棱镜光路图;
[0027]图4为本技术提供的棱镜光束平移平行差测量装置结构图;
[0028]图5为本技术提供的棱镜光束平移平行差测量装置结构图;
[0029]图6为本技术提供的棱镜光束平移平行差测量装置结构图。
[0030]图中:1

、第一入射面;2

、第一出射面;1、第一入射面;2、第一出射面;21、第二出射面;211、第三出射面;212、第四出射面;3

、第一反射面;4

、第二反射面;31、第三反射面;41、第四反射面;60、第一亮斑;61、第二亮斑;62、第三亮斑;7、显示单元;8、测试光源;81、第二六维调节架;82、检测光信号;83、输出光信号;9、检测装置;10、第四亮斑;11、承载台;111、五维调节架;12、支撑装置;13、阶梯台面;14、斜方棱镜;15、光斑分析仪;151、可调平移导轨;16、光学平台。
具体实施方式
[0031]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0032]请参阅图4,本技术提供一种技术方案:棱镜光束平移平行差测量装置,包括测试光源8,用以输出一检测光信号82;承载台11,设置于沿所述检测光信号82前进方向、且与所述测试光源8相邻设置,用以承载一斜方棱镜14,所述斜方棱镜14接收所述检测光信号82,并对所述检测光信号82做折射和/或反射处理以形成一输出光信号83;显示单元7,例如是带有靶环的纸面或感光卡面,设置于所述输出光信号83前进方向、且于所述承载台11间隔一预定距离,用以显示所述输出光信号83。
[0033]通过设置测试光源8、承载台11及显示单元7形成的测试装置,可测量微小斜方棱镜的光束平行差(角度α),也可以应用于一般尺寸的斜方棱镜测量本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种棱镜光束平移平行差测量装置,其特征在于,包括:测试光源,用以输出一检测光信号;承载台,设置于沿所述检测光信号前进方向、且与所述测试光源相邻设置,用以承载一棱镜,所述棱镜接收所述检测光信号,并对所述检测光信号做折射和/或反射以形成一输出光信号;显示单元,设置于所述输出光信号前进方向、且于所述承载台间隔一预定距离,用以显示所述输出光信号。2.根据权利要求1所述的棱镜光束平移平行差测量装置,其特征在于,还包括一检测装置,设置于所述测试光源与所述承载台之间,用以控制所述检测光信号的输入状态。3.根据权利要求2所述的棱镜光束平移平行差测量装置,其特征在于,所述检测装置中间设置光孔,所述光孔用以控制所述检测光信号的入射垂直度;所述棱镜接收检测光信号并对检测光信号做折射和/或反射以形成输出光信号。4.根据权利要求1所述的棱镜光束平移平行差测量装置,其特征在于,所述承载台为测试旋转...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘孟阳唐萍
申请(专利权)人:上海伟钊光学科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1