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本实用新型涉及一种具有多引出电极栅网的离子源,其特征在于其栅网板在圆周方向上多个位置预先制作多个引出电极,栅网板在圆周方向上有多个位置可与固定接线桩相连接。本实用新型的有益之处是,当栅网组在某一方向上蚀刻加重后,则整体旋转栅网组一个角度后再...该专利属于上海伟钊光学科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海伟钊光学科技股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及一种具有多引出电极栅网的离子源,其特征在于其栅网板在圆周方向上多个位置预先制作多个引出电极,栅网板在圆周方向上有多个位置可与固定接线桩相连接。本实用新型的有益之处是,当栅网组在某一方向上蚀刻加重后,则整体旋转栅网组一个角度后再...