用碳离子束辐照制备氧化锌条形波导的方法技术

本发明专利技术用碳离子束辐照与光刻技术相结合制备氧化锌条形光波导的方法，属于光电子器件制备技术领域。将单晶ZnO的表面和两个端面光学抛光，样品表面上制备条形掩膜，再进行碳离子束辐照，清洗光刻胶掩膜，得到沟道条形光波导；或先用碳离子束辐照，再做光刻掩膜，再用Ar离子束进行刻蚀，得到脊形光波导。所形成的条形光波导可很好的保持氧化锌晶体的光学特性，在制备光开关、光调制器等方面具有潜在的应用价值。

A method for the preparation of a Zinc Oxide strip waveguide by carbon ion beam irradiation

A method for the preparation of a Zinc Oxide strip optical waveguide with a combination of carbon ion beam irradiation and photolithography, which belongs to the field of photoelectronic device preparation. The surface of single crystal ZnO and two end face of the optical polishing, the surface of the sample preparation of strip mask, then carbon ion beam irradiation, cleaning the photoresist mask, get the channel strip optical waveguides; or by carbon ion beam irradiation, and lithography mask, and then Ar ion beam etching, get the ridge waveguide. The formed optical waveguide can keep the optical properties of Zinc Oxide crystal well, and has potential application in the preparation of optical switches and optical modulators.

【技术实现步骤摘要】
用碳离子束辐照制备氧化锌条形波导的方法
本专利技术涉及一种制备单晶光波导的方法，适用于碳离子束辐照制备ZnO条形光波导。属于光电子器件领域的波导制备方法。技术背景光波导作为集成光学的基本单元，也是全光网络的基础，光波导以其独特的性能、高集成化以及规模生产的低成本，在各种光器件的制造中起着重要的作用。光波导可以把光束限制在较小的区域传播以提高光密度，从而更好的利用晶体的光学性质或降低光学材料的泵浦阈值，对光信号传输、放大和调制等具有重要的价值。平面光波导是光在一个方向上受到约束，而在两个方向上受到约束则为条形波导。光波导的主要制备方法有：高温扩散、离子交换、化学气相沉积、分子数外延等。1991年美国的科技期刊杂志《AppliedPhysicsLetters》报道了利用离子交换的方法在KTP上制备了光波导，1997年在同一期刊上报道了用溶胶-凝胶法制备了光波导。这些方法大多是化学过程，所制备的光波导的光学性质受到了制备方法的影响。ZnO晶体是一种宽禁带直接带隙半导体材料，不仅具有很强的压电特性，同时还显示出很强的光电效应和很大的非线性光学效应，在利用这些效应的器件中，尤其是利用非压电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用碳离子束辐照与光刻技术相结合制备ZnO条形波导的方法，该制备方法包含：晶体表面光刻胶掩膜的制备和一定剂量和能量的碳离子束辐照ZnO晶体表面。

【技术特征摘要】
1.一种用碳离子束辐照与光刻技术相结合制备ZnO条形波导的方法，该制备方法包含：晶体表面光刻胶掩膜的制备和一定剂量和能量的碳离子束辐照ZnO晶体表面。2.按照权利要求1所述，其特征在于：用碳离子束进行辐照，碳离子为一价碳离子(C...

【专利技术属性】
技术研发人员：明宪兵，张艺，
申请(专利权)人：天津工业大学，
类型：发明
国别省市：天津,12