The invention discloses a bar type optical waveguide in a glass thermal poling layer. One side of the glass substrate is provided with a thermal polarizing layer, and the ion diffusion region, which acts as a strip light guide core, is positioned in the thermal poling layer on the side of the glass substrate. The strip optical waveguide is nonlinear optical waveguide based on glass production technology on chip thermal poling of ion exchange technology and glass, has a broad application prospect in glass based electro-optic modulator and electrooptical device on glass substrate.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及集成光器件技术,特别是涉及一种玻璃热极化层中的条形光波导。
技术介绍
玻璃是一种各向同性的均质光学材料,作为光学透镜、反射镜材料在传统光学领 域具有广泛应用。不仅如此,在现代光学领域,玻璃材料作为一种光波导芯片的基片材料。玻璃基片上的光波导制备技术有离子交换技术、激光直写技术等。其中离子交换 技术所需工艺灵活,设备简单,与微细加工工艺兼容,适合大规模生产并因此具有较低的成 本。近年来,玻璃基片上离子交换技术光波导制备技术逐渐成熟,并在集成光学器件(如光 功分器、光放大器、光传感器)的制作与生产方面取得应用,显示出在性能和成本方面的独 特优势。同时,玻璃材料具有是一种无定形材料,具有宏观的中心对称性,所以玻璃不具有 偶数阶非线性光学极化率和线性电光系数。这一特性决定了玻璃材料不能用于电光调制器 和基于二阶非线性特性的波长变换器件,限制了玻璃材料作为有源器件的应用。利用玻璃热极化技术,即将玻璃升高到一定高的温度,通过覆盖在玻璃表面的电 极对无机玻璃材料施加一定的静电场,可以使玻璃的微观结构发生变化,在玻璃表面产生 一个空间电荷层,空间电荷层形成很大的 ...
【技术保护点】
1.一种玻璃热极化层中的条形光波导,玻璃基片的一侧制作有热极化层,其特征在于:作为条形光波导芯部的离子扩散区位于玻璃基片一侧表面的热极化层中。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:郝寅雷,郑斌,江晓清,杨建义,周强,李锡华,王明华,
申请(专利权)人:浙江大学,
类型:发明
国别省市:86
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