【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于微光学元件
，更具体的，涉及一种微透镜与光波导功分器集 成元件及其制作方法。
技术介绍
微光学元件是微光电机系统(M0EMQ的关键元器件，其中微透镜阵列、光栅、光波 导等又是微光学元件当中最基本的器件。微光学元件具有体积小、重量轻、设计灵活、可阵 列化和易复制等优点，能够起到提高光学系统的传输效率、减轻系统重量、改变输入光的能 量分布和相位变化、实现光束变换和光学互联等方面的作用，广泛用于集成光学、光通信、 激光光学、全息技术等各个领域中。目前，在微光学元件的制造方面，采用飞秒激光在透明材料中进行二维或三维光 波导刻写的技术已经日趋成熟。早在1996年，Davis等报道了飞秒激光在聚焦点可诱导介 质折射率的增加，并进行了相关实验。1999年，Homoelle使用红外飞秒激光在硅玻璃上制 作了波导结构，并由此制作出了 Y型耦合器。2004年，Yamada等使用波长为800nm，重复频 率为IkHz的飞秒激光在玻璃上制作了微型衍射透镜。2009年，Valle等利用商用钛宝石飞 秒激光器在玻璃基质上制作了光波导和放大器等。在国内，从上个世纪末开始，...
【技术保护点】
１．一种微透镜与光波导功分器集成元件，其特征在于，包括：玻璃基底；半球型微透镜阵列，所述半球型微透镜阵列通过离子交换形成于所述玻璃基底表面；光波导功分器，其通过飞秒激光刻写于所述玻璃基底内部形成光波导。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周自刚，邱荣，唐金龙，李晓红，
申请(专利权)人：西南科技大学，
类型：发明
国别省市：51
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