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本发明用碳离子束辐照与光刻技术相结合制备氧化锌条形光波导的方法，属于光电子器件制备技术领域。将单晶ZnO的表面和两个端面光学抛光，样品表面上制备条形掩膜，再进行碳离子束辐照，清洗光刻胶掩膜，得到沟道条形光波导；或先用碳离子束辐照，再做光刻掩...
该专利属于天津工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津工业大学授权不得商用。

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