附着物去除方法及附着物去除装置制造方法及图纸

在本发明专利技术的吸嘴干燥装置(100)中，将保持于保持卡盘(128)的吸嘴(60)插入到壳体(160)的内部，通过吹气装置(164)的工作而向吸嘴吹送空气。而且，通过使保持于保持卡盘的吸嘴的吸管(68)与抵接桌台(162)抵接而将吸管向主体筒(64)的内部压入。即，通过吸管向主体筒的内部的压入而使吸管与主体筒进行滑动，由此能够从主体筒的内部将水分排出，并通过空气的吹送将所排出的水分去除。由此，能够适当地去除进入到吸管与主体筒之间的水分。

Removal of attachments and removal device for attachment

In the suction drying device (100) of the invention, the suction nozzle (60) retained on the chuck (128) is inserted into the interior of the shell (160), and the air is blown to the suction nozzle through the work of the blowing device (164). Furthermore, the suction pipe (64) is pressed into the inner of the main body cylinder (64) by making the suction pipe (68) kept to keep the chuck and the counter table (162). That is to say, through the pressure of the suction tube into the main barrel, the suction tube and the main cylinder will slide, so that the moisture can be discharged from the inside of the main cylinder and the water discharged will be removed through air blowing. Thus, the moisture between the suction pipe and the main body can be properly removed.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】附着物去除方法及附着物去除装置
本专利技术涉及将用于保持元件的元件保持体上附着的附着物去除用的附着物去除方法及附着物去除装置。
技术介绍
在吸嘴、机械卡盘等元件保持体中，为了确保适当地保持元件而去除元件保持体上附着的附着物。下述专利文献记载了用于去除元件保持体上附着的附着物的技术的一例。专利文献1：日本特开2011-3679号公报专利文献2：日本特开2011-78881号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题根据上述专利文献记载的技术，能够在一定程度上从元件保持体去除附着物。但是，在元件保持体中，用于保持元件的保持部与对保持部进行保持的主体部能够进行相对移动，因此有时难以去除上述保持部与主体部之间的附着物。本专利技术鉴于这样的实际情况而作出，本专利技术的课题在于适当地去除保持部与主体部之间的附着物。用于解决课题的方案为了解决上述课题，本申请记载的附着物去除方法用于将附着于元件保持体的附着物去除，上述元件保持体具备用于保持元件的保持部和保持上述保持部的主体部，上述保持部与上述主体部能够进行相对移动，上述附着物去除方法的特征在于，包括：第一吹气工序，向保持于保持件的上述元件保持体吹送气体；本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种附着物去除方法，用于将附着于元件保持体的附着物去除，所述元件保持体具备用于保持元件的保持部和保持所述保持部的主体部，所述保持部与所述主体部能够进行相对移动，所述附着物去除方法的特征在于，包括：第一吹气工序，向保持于保持件的所述元件保持体吹送气体；及移动工序，使所述保持部与所述主体部进行相对移动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种附着物去除方法，用于将附着于元件保持体的附着物去除，所述元件保持体具备用于保持元件的保持部和保持所述保持部的主体部，所述保持部与所述主体部能够进行相对移动，所述附着物去除方法的特征在于，包括：第一吹气工序，向保持于保持件的所述元件保持体吹送气体；及移动工序，使所述保持部与所述主体部进行相对移动。2.根据权利要求1所述的附着物去除方法，其特征在于，所述元件保持体是吸嘴，所述吸嘴具备：吸管，用于通过空气的吸引来吸附保持元件；及保持筒，在内部以使所述吸管的前端部突出的状态保持所述吸管，所述吸管作为所述保持部发挥作用，所述元件保持体作为所述主体部发挥作用。3.根据权利要求2所述的附着物去除方法，其特征在于，所述移动工序是如下的工序：通过使保持于所述保持件的所述吸嘴的吸管与抵接部抵接，而使所述吸管向所述保持筒的内部移动。4.根据权利要求2或3所述的附着物去除方法，其特征在于，所述保持件具备向所述保持件保持的所述吸嘴的吸管的内部吹出气体的第一吹气装置，所述附着物去除方法还包括第二吹气工序，所述第二吹气工序是利用所述第一吹气装置向保持于所述保持件的...

【专利技术属性】
技术研发人员：星川和美，
申请(专利权)人：富士机械制造株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP