下载附着物去除方法及附着物去除装置的技术资料

文档序号:17104043

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在本发明的吸嘴干燥装置(100)中,将保持于保持卡盘(128)的吸嘴(60)插入到壳体(160)的内部,通过吹气装置(164)的工作而向吸嘴吹送空气。而且,通过使保持于保持卡盘的吸嘴的吸管(68)与抵接桌台(162)抵接而将吸管向主体筒(6...
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