一种绒面多层膜透明导电玻璃制造技术

本发明专利技术公开一种绒面多层膜透明导电玻璃，包括玻璃基底，玻璃基底顶面由下至上依次设有下ZnO基薄膜与上ZnO基薄膜，上ZnO基薄膜表面设有一组离散分布的球坑，使上ZnO基薄膜表面呈凹凸的织构化结构；上ZnO基薄膜的厚度小于球坑的直径；通过离散分布的球坑，在上ZnO基薄膜表面形成凹凸的织构化结构，从而得到高透过率、低电阻率的多层膜透明导电玻璃；制作时，可以先在下ZnO基薄膜表面制备单层离散的聚苯乙烯小球层，然后利用聚苯乙烯小球层作为掩膜，溅射生长上ZnO基薄膜，之后去除聚苯乙烯小球，即在上ZnO基薄膜表面形成凹凸的织构化结构；由于聚苯乙烯小球层的直径与浓度可控，因而使得上ZnO基薄膜表面的微结构可控，调节ZnO基薄膜的雾度。

A suede multilayer transparent conductive glass

The invention discloses a suede multilayer transparent conductive glass, including glass substrate, glass substrate top surface followed by the bottom is provided with a ZnO based thin film and ZnO based thin film, on the surface of ZnO based thin film is provided with a set of discrete distribution of ball pit, the ZnO thin film surface is a textured structure bump; ZnO the base film thickness less than the diameter of the ball pit; the discrete distribution of the ball pit, the formation of textured structure in ZnO based on the convex surface of the film, resulting in high rate and low resistivity through multilayer transparent conductive glass; making, can prepare monolayer polystyrene beads on the surface layer of discrete system ZnO based thin the film, then using polystyrene spheres as a mask layer, sputtering growth of ZnO films, after the removal of polystyrene beads, is formed on the concave convex structure of textured ZnO films due to surface; polystyrene The diameter and concentration of the ethylene ball layer are controllable, which makes the microstructures of the surface of the upper ZnO based film controllable and regulates the fog of the ZnO based film.

【技术实现步骤摘要】
一种绒面多层膜透明导电玻璃
本专利技术涉及透明导电玻璃制备
，具体是一种绒面多层膜透明导电玻璃。
技术介绍
透明导电玻璃由于兼具透明性和导电性，且具备原材料易得、环境友好、化学稳定性好等优点，因此在许多领域，如光电子探测器、光伏器件、薄膜（光电）晶体管、液晶显示、传感器、热反射器等方面都已有重要的应用前景。而具有精细表面微结构光电玻璃是一类高透过率、低电阻率功能玻璃，是一类可望在薄膜太阳能电池、环境保护材料等方面得到重要应用的新型无机非金属材料。在薄膜太阳能电池的窗口层材料的应用中，相较于传统ZnO基光电功能玻璃，具有微结构ZnO基光电功能玻璃具有更高的透过率和更大的雾度，通过增加窗口层的陷光能力，可延长太阳光在窗口层的光程，从而提高器件对太阳光的吸收，对提高其光转换效率和稳定性起到关键性作用。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种绒面多层膜透明导电玻璃，该导电玻璃具有高透过率和低电阻率，具有高光转换效率。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种绒面多层膜透明导电玻璃，包括玻璃基底，所述玻璃基底顶面由下至上依次设有下ZnO基薄膜与上ZnO基薄膜，上ZnO基薄膜表面设有一组离散分布的球坑，使上ZnO基薄膜表面呈凹凸的织构化结构；所述上ZnO基薄膜的厚度小于球坑的直径。进一步的，所述球坑为半圆球坑。进一步的，所述下ZnO基薄膜的厚度为600±50nm。进一步的，所述上ZnO基薄膜的厚度为200±50nm。进一步的，所述球坑的直径为301～1000nm。本专利技术的有益效果是，通过离散分布的球坑，在上ZnO基薄膜表面形成凹凸的织构化结构，从而得到高透过率、低电阻率的多层膜透明导电玻璃；制作时，可以先在下ZnO基薄膜表面制备单层离散的聚苯乙烯小球层，然后利用聚苯乙烯小球层作为掩膜，溅射生长上ZnO基薄膜，之后去除聚苯乙烯小球，即在上ZnO基薄膜表面形成凹凸的织构化结构；由于聚苯乙烯小球层的直径与浓度可控，因而使得上ZnO基薄膜表面的微结构可控，调节ZnO基薄膜的雾度。附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明：图1是本专利技术的结构示意图。具体实施方式如图1所示，本专利技术提供一种绒面多层膜透明导电玻璃，包括玻璃基底1，玻璃基底1顶面由下至上依次设有下ZnO基薄膜2与上ZnO基薄膜3，上ZnO基薄膜3表面设有一组离散分布的球坑4，使上ZnO基薄膜3表面呈凹凸的织构化结构；上ZnO基薄膜3的厚度小于球坑4的直径。作为优选的，所述球坑4为半圆球坑；下ZnO基薄膜2的厚度为600±50nm；上ZnO基薄膜3的厚度为200±50nm；球坑4的直径为301～1000nm。制作时，可以先在玻璃基底1磁控溅射下ZnO基薄膜2，然后采用线棒刮涂在下ZnO基薄膜2上制备单层离散的聚苯乙烯小球层，之后利用聚苯乙烯小球层作为掩膜，溅射生长上ZnO基薄膜3，再去除聚苯乙烯小球，即在上ZnO基薄膜3表面形成离散分布的球坑4，得到凹凸的织构化结构。球坑4为半球坑时，陷光作用更强，透过的光不容易反射出去，增加透过率。将制备得到的多层膜透明导电玻璃分别进行膜厚测试、雾度测试、透过率测试、电阻率测试与XRD测试，膜厚为600～800nm，雾度为21.5%，可见光平均透过率为89.7%，电阻率为4.8*10-4Ω•cm，XRD图谱表明ZnO基薄膜在2θ=34.4°附近出现较强衍射峰，对应六角纤锌矿ZnO结构（002）衍射峰。以上所述，仅是本专利技术的较佳实施例而已，并非对本专利技术作任何形式上的限制；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本专利技术技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和
技术实现思路
对本专利技术技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本专利技术技术方案的内容，依据本专利技术的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同替换、等效变化及修饰，均仍属于本专利技术技术方案保护的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种绒面多层膜透明导电玻璃，包括玻璃基底，其特征在于，所述玻璃基底顶面由下至上依次设有下ZnO基薄膜与上ZnO基薄膜，上ZnO基薄膜表面设有一组离散分布的球坑，使上ZnO基薄膜表面呈凹凸的织构化结构；所述上ZnO基薄膜的厚度小于球坑的直径。

【技术特征摘要】
1.一种绒面多层膜透明导电玻璃，包括玻璃基底，其特征在于，所述玻璃基底顶面由下至上依次设有下ZnO基薄膜与上ZnO基薄膜，上ZnO基薄膜表面设有一组离散分布的球坑，使上ZnO基薄膜表面呈凹凸的织构化结构；所述上ZnO基薄膜的厚度小于球坑的直径。2.根据权利要求1所述的一种绒面多层膜透明导电玻璃，其特征在于，所述球坑为半圆球坑...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭寿，马立云，姚婷婷，李刚，杨勇，沈洪雪，金克武，王天齐，彭赛奥，甘治平，
申请(专利权)人：蚌埠玻璃工业设计研究院，
类型：发明
国别省市：安徽,34