一种用于板式PECVD设备的氨气进气管道制造技术

技术编号:17081799 阅读:41 留言:0更新日期:2018-01-20 19:57
本实用新型专利技术涉及太阳能电池镀膜中的特气管道,旨在提供一种用于板式PECVD设备的氨气进气管道。该种用于板式PECVD设备的氨气进气管道包括两根进气管道Ⅰ和一根进气管道Ⅱ,进气管道Ⅱ的左端与一根进气管道Ⅰ的右端连通,进气管道Ⅱ的右端与另一根进气管道Ⅰ的右端连通。在板式PECVD设备中,使用本实用新型专利技术替换现有的氨气进气管道,能够实现三路氨气流量独立控制,以有效地缓解薄膜厚度极差大的问题。

An ammonia intake pipe for plate type PECVD equipment

The utility model relates to a special gas pipeline in the coating of a solar cell, which aims to provide an ammonia intake pipe for a plate type PECVD device. The ammonia intake pipe for plate type PECVD equipment consists of two intake pipes, one and one intake pipe. The left end of the intake pipe II is connected with the right end of one intake pipe I, and the right end of the intake pipe II is connected with the right end of another intake pipe I. In the plate type PECVD equipment, replacing the existing ammonia air intake pipe with the utility model can realize the independent control of the three way ammonia flow rate, so as to effectively alleviate the problem of large thickness difference of the film thickness.

【技术实现步骤摘要】
一种用于板式PECVD设备的氨气进气管道
本技术是关于太阳能电池镀膜中的特气管道领域,特别涉及一种用于板式PECVD设备的氨气进气管道。
技术介绍
图1为现有技术中氨气进气管道气孔分布图,包括喷气管31、第一气管32、第二气管33、第三气管34和三通接头35,三通接头35三面分别与所述第一气管32、第二气管33和第三气管34连通,第一气管32与第二气管33的另一端与喷气管31管体连通。各个气孔的氨气流量无法实现独立控制,造成薄膜厚度极差大。
技术实现思路
本技术的主要目的在于克服现有技术中的不足,提供一种能够有效降低薄膜厚度极差的用于板式PECVD设备的氨气进气管道。为解决上述技术问题,本技术的解决方案是:提供一种用于板式PECVD设备的氨气进气管道,包括进气管道Ⅰ和进气管道Ⅱ,所述进气管道Ⅰ包括第一喷气管、第一气管、第二气管、第三气管、三通接头A,三通接头A的三个接口分别与第一气管的一端、第二气管的一端、第三气管的一端连通,第一气管的另一端、第二气管的另一端分别与第一喷气管的管体连通,且设定第一气管与第一喷气管的连通点在第一喷气管的左侧管体上,第二气管与第一喷气管的连通点在第一喷气管的右侧本文档来自技高网...
一种用于板式PECVD设备的氨气进气管道

【技术保护点】
一种用于板式PECVD设备的氨气进气管道,包括进气管道Ⅰ和进气管道Ⅱ,其特征在于,所述进气管道Ⅰ包括第一喷气管、第一气管、第二气管、第三气管、三通接头A,三通接头A的三个接口分别与第一气管的一端、第二气管的一端、第三气管的一端连通,第一气管的另一端、第二气管的另一端分别与第一喷气管的管体连通,且设定第一气管与第一喷气管的连通点在第一喷气管的左侧管体上,第二气管与第一喷气管的连通点在第一喷气管的右侧管体上;第一喷气管的管体上开有喷气孔,且满足:第一喷气管在左端至与第一气管的连通点之间的管体上,至少开有两个喷气孔;第一喷气管在右端至与第二气管的连通点之间的管体上,至少开有两个喷气孔;第一喷气管在与...

【技术特征摘要】
1.一种用于板式PECVD设备的氨气进气管道,包括进气管道Ⅰ和进气管道Ⅱ,其特征在于,所述进气管道Ⅰ包括第一喷气管、第一气管、第二气管、第三气管、三通接头A,三通接头A的三个接口分别与第一气管的一端、第二气管的一端、第三气管的一端连通,第一气管的另一端、第二气管的另一端分别与第一喷气管的管体连通,且设定第一气管与第一喷气管的连通点在第一喷气管的左侧管体上,第二气管与第一喷气管的连通点在第一喷气管的右侧管体上;第一喷气管的管体上开有喷气孔,且满足:第一喷气管在左端至与第一气管的连通点之间的管体上,至少开有两个喷气孔;第一喷气管在右端至与第二气管的连通点之间的管体上,至少开有两个喷气孔;第一喷气管在与第一气管的连通点至与第二气管的连通点之间的管体上,至少开有四个喷气孔;所述进气管道Ⅱ包括第二喷气管、第四气管、第五气管、第六气管、三通接头B,三通接头B的三个接口分别与第四气管的一端、第五气管的一端、第六气...

【专利技术属性】
技术研发人员:傅林坚石刚洪昀祝广辉王伟星吴威高振波
申请(专利权)人:浙江晶盛机电股份有限公司
类型:新型
国别省市:浙江,33

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