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本实用新型涉及太阳能电池镀膜中的特气管道，旨在提供一种用于板式PECVD设备的氨气进气管道。该种用于板式PECVD设备的氨气进气管道包括两根进气管道Ⅰ和一根进气管道Ⅱ，进气管道Ⅱ的左端与一根进气管道Ⅰ的右端连通，进气管道Ⅱ的右端与另一根进气...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

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