角度快速扫描集成非周期性高对比光栅垂直腔面发射激光雷达光源制造技术

本发明专利技术公开了一种角度快速扫描集成非周期性高对比光栅垂直腔面发射激光雷达光源，属于半导体光电子技术领域，解决了VCSEL光束偏转角度小、实现角度单一、不能进行扫描的问题。本发明专利技术从下到上依次包括多量子阱有源增益层、氧化电流限制孔层和P面分布式布拉格反射镜层，所述多量子阱有源增益层、氧化电流限制孔层和P面分布式布拉格反射镜层形成第一台面，在所述第一台面上设有中间带有空气层且直径小于第一台面的第二台面，在所述第二台面上设有非周期性高对比度光栅层，在所述第一台面上、所述第二台面的外侧设有P面电极。本发明专利技术不但可以实现大角度的宽视场探测和扫描，而且降低了激光雷达光源系统的复杂性，满足了激光雷达光源的要求。

【技术实现步骤摘要】
角度快速扫描集成非周期性高对比光栅垂直腔面发射激光雷达光源
本专利技术属于半导体光电子
，特别涉及一种角度快速扫描集成非周期性高对比光栅垂直腔面发射激光雷达光源。
技术介绍
激光雷达(LiDAR)与普通的微波雷达相比，具有分辨率高，隐蔽性好、抗干扰能力强，低空探测性能好，体积小、质量轻等巨大优势。激光雷达是自主导航小型无人机、辅助驾驶或全自动驾驶系统、自然目标、碰撞规避导航等领域的核心部件。目前市场上的LiDAR产品体积庞大、重量大、而且价格昂贵，且使用的是目前主流的机械旋转和环形激光器分布实现360°环视，这样造成了复杂的LiDAR光源系统和昂贵的单价。所以一种自带角度扫描的半导体激光器将会对机械式扫描和环形激光器分布式扫描LiDAR形成绝对的优势，价格成倍降低，体积微型化，使用寿命长等。垂直腔面发射激光器(VCSEL)具有阈值电流小、发散角度小、输出光斑呈现圆形对称性、易二维集成等优点，是固体激光器、气体激光器、外腔激光器所不具备的。所以在成像、传感器、激光雷达等方面，VCSEL具有广泛的应用前景，其中激光器光束控制技术是实现这些应用的基础。目前也有许多的实现激光器光束控制本文档来自技高网...

【技术保护点】
角度快速扫描集成非周期性高对比光栅垂直腔面发射激光雷达光源，从下到上依次包括：N面电极、衬底、N面分布式布拉格反射镜层、多量子阱有源增益层、氧化电流限制孔层和P面分布式布拉格反射镜层，所述多量子阱有源增益层、氧化电流限制孔层和P面分布式布拉格反射镜层形成第一台面，其特征在于，所述第一台面为多个，且在N面分布式布拉格反射镜层上呈列阵分布；在所述第一台面上设有多个内部带有空气层且直径小于第一台面的第二台面，所述第二台面在第一台面上呈列阵分布；在所述第二台面上设有非周期性高对比度光栅层，所述非周期性高对比度光栅层是由可以实现不同偏转角度的、不同光栅周期和占空比的非周期性高度比度光栅条组合而成的非周期...

【技术特征摘要】
1.角度快速扫描集成非周期性高对比光栅垂直腔面发射激光雷达光源，从下到上依次包括：N面电极、衬底、N面分布式布拉格反射镜层、多量子阱有源增益层、氧化电流限制孔层和P面分布式布拉格反射镜层，所述多量子阱有源增益层、氧化电流限制孔层和P面分布式布拉格反射镜层形成第一台面，其特征在于，所述第一台面为多个，且在N面分布式布拉格反射镜层上呈列阵分布；在所述第一台面上设有多个内部带有空气层且直径小于第一台面的第二台面，所述第二台面在第一台面上呈列阵分布；在所述第二台面上设有非周期性高对比度光栅层，所述非周期性高对比度光栅层是由可以实现不同偏转角度的、不同光栅周期和占空比的非周期性高度比度光栅条组合而成的非周期性高度比度光栅列阵；在所述第一台面上、所述第二台面的外侧设有P面电极。2.根据权利要求1所述的角度快速扫描集成非周期性高对比光栅垂直腔面发射激光雷达光源，其特征在于，所述第二台面...

【专利技术属性】
技术研发人员：张星，黄佑文，宁永强，王立军，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林,22