下载角度快速扫描集成非周期性高对比光栅垂直腔面发射激光雷达光源的技术资料

文档序号:17036305

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本发明公开了一种角度快速扫描集成非周期性高对比光栅垂直腔面发射激光雷达光源,属于半导体光电子技术领域,解决了VCSEL光束偏转角度小、实现角度单一、不能进行扫描的问题。本发明从下到上依次包括多量子阱有源增益层、氧化电流限制孔层和P面分布式布...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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