主动元件基板制造技术

本发明专利技术公开一种主动元件基板包括多个像素单元以及预设图案。每一像素单元包括沿着第一方向延伸的扫描线、与扫描线交错的数据线、与扫描线及数据线电性连接的像素电极以及与像素电极重叠的共用电极。至少一像素单元的扫描线具有预设开口。预设图案与共用电极属于同一膜层。预设图案设置于至少一像素单元的扫描线上。预设图案具有相对的多个第一侧边及相对的多个第二侧边。第一侧边及第二侧边位于扫描线的面积内。第一侧边与第一方向垂直，而且第二侧边与第一方向平行。

【技术实现步骤摘要】
主动元件基板
本专利技术是有关于一种基板，且特别是有关于一种主动元件基板。
技术介绍
随着显示科技的进步，显示面板的解析度不断提升。一般而言，现今显示面板已具备足够的高解析度，而消费者对显示面板规格的关注不再限于此。详言之，消费者更关注动态画面的显示流畅度。一般而言，为使动态画面的显示流畅，可提高显示面板的画面更新率(framerate)。举例而言，可将显示面板的画面更新率从一般的60Hz提升至144Hz。然而，在高频(例如：144Hz)驱动下，若显示面板的电阻电容负载(RCloading)过高，则易发生显示不良的现象。有鉴于此，可变更显示面板的扫描线的设计以降低电阻电容负载，但扫描线的设计变更时，扫描线所属膜层的边缘与透明电极所属膜层的边缘过近，量测系统易误取错误的边缘影像，进而造成判断扫描线所属膜层与透明电极所属膜层的对位情况的困难。
技术实现思路
本专利技术提供一种主动元件基板，其扫描线所属膜层与共用电极所属膜层的对位情况易量测。本专利技术的主动元件基板包括多个像素单元以及预设图案。每一像素单元包括沿着第一方向延伸的扫描线、与扫描线交错的数据线、与扫描线及数据线电性连接的像素电极以及与像素电极重叠的共用电极。至少一像素单元的扫描线具有预设开口。预设图案与共用电极属于同一膜层。预设图案设置于至少一像素单元的扫描线上。预设图案具有相对的多个第一侧边及相对的多个第二侧边。第一侧边及第二侧边位于扫描线的面积内。第一侧边与第一方向垂直，而且第二侧边与第一方向平行。在本专利技术的一实施例中，上述的预设图案包括第一部及第二部。第一部具有多个第一侧边且与扫描线垂直。第二部具有多个第二侧边且与扫描线平行。在本专利技术的一实施例中，上述的第一部电性连接于相邻的两个像素单元的两个共用电极之间。在本专利技术的一实施例中，上述的第一部与第二部连接。在本专利技术的一实施例中，上述的第一部与第二部分离。在本专利技术的一实施例中，上述的预设开口的垂直投影位于预设图案的垂直投影面积之外。在本专利技术的一实施例中，上述的预设开口的垂直投影位于至少一像素单元的薄膜电晶体的垂直投影与预设图案的垂直投影之间。在本专利技术的一实施例中，上述的预设开口的垂直投影与预设图案的垂直投影重叠。在本专利技术的一实施例中，上述的预设开口的垂直投影位于预设图案的垂直投影面积之内。在本专利技术的一实施例中，上述的预设开口为封闭开口。在本专利技术的一实施例中，上述的封闭开口具有相对的多个第三侧边及相对的多个第四侧边，第三侧边与第一方向垂直，而第四侧边与第一方向平行。在本专利技术的一实施例中，上述的预设开口为开放开口。在本专利技术的一实施例中，上述的开放开口具有相对的多个第五侧边及连接于第五侧边之间的第六侧边，第五侧边与第一方向垂直，第六侧边与第一方向平行。在本专利技术的一实施例中，上述的预设开口的垂直投影与预设图案的垂直投影的最短距离为L，而3μm≦L≦30μm。在本专利技术的一实施例中，上述的扫描线的不具预设开口的其余部分的线宽一致。在本专利技术的一实施例中，上述的薄膜电晶体包括闸极、半导体层以及与半导体层电性连接的源极与汲极，而半导体层、源极与汲极位于扫描线的上方。在本专利技术的一实施例中，上述的闸极为扫描线的一部分。基于上述，利用与共用电极属于同一膜层的预设图案以及扫描线的预设开口能判断共用电极所属膜层与扫描线所属膜层的对位状况。由于预设图案的第一侧边及第二侧边皆位于扫描线的面积内，因此量测系统的取像单元易取得第一侧边及第二侧边，而不易误取其它图案的边缘。藉此，主动元件基板不但具备适当的电容电阻负载，且其扫描线所属膜层与共用电极所属膜层的对位情况易被检测。以下结合附图和具体实施例对本专利技术进行详细描述，但不作为对本专利技术的限定。附图说明图1为本专利技术一实施例的主动元件基板的上视示意图。图2为图1的主动元件基板100的局部R的放大示意图。图3为本专利技术另一实施例的主动元件基板100-1的局部R1的放大示意图。图4为本专利技术又一实施例的主动元件基板100-2的局部R2的放大示意图。图5为本专利技术再一实施例的主动元件基板100-3的局部R3的放大示意图。图6为本专利技术一实施例的主动元件基板100-4的局部R4的放大示意图。图7为本专利技术另一实施例的主动元件基板100-5的局部R5的放大示意图。图8为本专利技术又一实施例的主动元件基板100-6的局部R6的放大示意图。其中，附图标记100、100-1～100-6：主动元件基板110、110-1、110-2：像素单元112：像素电极114、114-1、114-2：共用电极114a：开口116、116-1～116-5：预设开口116a、116b、122a、124a：侧边116c：边缘118：导电元件120、120-6：预设图案122：第一部124、124-6：第二部CH：半导体层CL：共用电极线D：汲极DL：数据线G：闸极L：距离R、R1～R6：局部SL：扫描线S：源极T：薄膜电晶体W：线宽x、y、z：方向具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本专利技术技术方案进行详细的描述，以更进一步了解本专利技术的目的、方案及功效，但并非作为本专利技术所附权利要求保护范围的限制。图1为本专利技术一实施例的主动元件基板的上视示意图。图2为图1的主动元件基板100的局部R的放大示意图。请参照图1及图2，主动元件基板100包括多个像素单元110以及预设图案120。多个像素单元110以及预设图案120配置于基底(未绘示)上。基底主要是用以承载主动元件基板100的构件。在本实施例中，基底的材质可为玻璃、石英、有机聚合物、或是不透光/反射材料(例如：晶圆、陶瓷、或其它可适用的材料)、或是其它可适用的材料。每一像素单元110包括扫描线SL、数据线DL、薄膜电晶体T、像素电极112及共用电极114。扫描线SL及数据线DL设置于所述基底上。扫描线SL与数据线DL彼此交错设置。扫描线SL沿着第一方向x延伸，数据线DL沿着第二方向y延伸，第一方向x与第二方向y不平行。举例而言，在本实施例中，第一方向x与第二方向y可以垂直，但本专利技术不以此为限。另外，扫描线SL与数据线DL属于不同的膜层。基于导电性的考量，扫描线SL与数据线DL一般是使用金属材料，但本专利技术不限于此，在其他实施例中，扫描线SL与数据线DL也可以使用其他导电材料，例如：合金、金属材料的氮化物、金属材料的氧化物、金属材料的氮氧化物、或是金属材料与其它导电材料的堆叠层。扫描线SL具有预设开口116。在本实施例中，于垂直投影方向z上，预设开口116位于主动元件T的面积之外而不与主动元件T重叠。在本实施例中，预设开口116具有与第一方向x垂直的相对两侧边116a(标示于图2)以及连接于相对两侧边116a之间的一侧边116b(标示于图2)，其中侧边116b与第一方向x平行。预设开口116的侧边116a的一端连接至侧边116b，而预设开口116的侧边116a的另一端可直接连接于扫描线SL的边缘116c。换言之，在本实施例中，预设开口116可以是扫描线SL的缺口，但本专利技术不以此为限。在本实施例中，预设开口116可以是矩形缺口。然而，本专利技术不限于此，在其它实施例中，预设开口116也可以是其它适当形状的缺口。在本实施例中，于垂直投影方向z上，预设开口116的垂直投影可位于预设图案120的垂直投影面积之外，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种主动元件基板，其特征在于，包括：多个像素单元，其中每一像素单元包括：一扫描线，沿着一第一方向延伸；一数据线，与该扫描线交错；一薄膜电晶体，与该扫描线及该数据线电性连接；一像素电极，与该薄膜电晶体电性连接；以及一共用电极，与该像素电极重叠，其中至少一像素单元的一扫描线具有一预设开口；以及一预设图案，与该共用电极属于同一膜层，其中该预设图案设置于该至少一像素单元的该扫描线上，该预设图案具有相对的多个第一侧边以及相对的多个第二侧边；于一垂直投影方向上，该些第一侧边位于该扫描线的面积内且与该第一方向垂直，该些第二侧边位于该扫描线的面积内且与该第一方向平行。

【技术特征摘要】
2017.08.21 TW 1061282381.一种主动元件基板，其特征在于，包括：多个像素单元，其中每一像素单元包括：一扫描线，沿着一第一方向延伸；一数据线，与该扫描线交错；一薄膜电晶体，与该扫描线及该数据线电性连接；一像素电极，与该薄膜电晶体电性连接；以及一共用电极，与该像素电极重叠，其中至少一像素单元的一扫描线具有一预设开口；以及一预设图案，与该共用电极属于同一膜层，其中该预设图案设置于该至少一像素单元的该扫描线上，该预设图案具有相对的多个第一侧边以及相对的多个第二侧边；于一垂直投影方向上，该些第一侧边位于该扫描线的面积内且与该第一方向垂直，该些第二侧边位于该扫描线的面积内且与该第一方向平行。2.如权利要求1所述的主动元件基板，其特征在于，该预设图案包括：一第一部，具有该些第一侧边且与该扫描线垂直；及一第二部，具有该些第二侧边且与该扫描线平行。3.如权利要求2所述的主动元件基板，其特征在于，该第一部电性连接于相邻的两个像素单元的两个共用电极之间。4.如权利要求2所述的主动元件基板，其特征在于，该第一部与该第二部连接。5.如权利要求2所述的主动元件基板，其特征在于，该第一部与该第二部分离。6.如权利要求1所述的主动元件基板，其特征在于，于该垂直投影方向上，该预设开口的垂直投影位于该预设图案的垂直投影面积之外。7.如权利要求6所述的主动元件基板，其特征在于，该预设开口的垂直投影位于该至...

【专利技术属性】
技术研发人员：江逸凡，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71